交流光起電力効果とその少数キャリア寿命計測への応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
交流光起電力効果とその少数キャリア寿命計測への応用に関する研究
- 著者名
-
本間, 則秋
- 著者別名
-
ホンマ, ノリアキ
- 学位授与大学
-
東北大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第5633号
- 学位授与年月日
-
1991-11-13
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
- 1.1 本研究の背景と目的 / p1 (0006.jp2)
- 1.2 本研究の概要 / p3 (0007.jp2)
- 第2章 光起電力効果の基本特性と交流光起電力法 / p5 (0008.jp2)
- 2.1 緒言 / p5 (0008.jp2)
- 2.2 光起電力の発生機構 / p5 (0008.jp2)
- 2.3 光電流の基本特性 / p9 (0010.jp2)
- 2.4 試料裏面における光電圧の影響 / p19 (0015.jp2)
- 2.5 交流光起電力法 / p23 (0017.jp2)
- 2.6 結言 / p27 (0019.jp2)
- 第3章 シリコン表面特性と交流光電圧の周波数応答 / p29 (0020.jp2)
- 3.1 緒言 / p29 (0020.jp2)
- 3.2 接合における交流光電圧の周波数特性 / p29 (0020.jp2)
- 3.3 接合空乏層におけるキャリア寿命の測定 / p32 (0022.jp2)
- 3.4 交流表面光電圧の周波数特性 / p46 (0029.jp2)
- 3.5 交流表面光電圧の光パワー依存性 / p62 (0037.jp2)
- 3.6 結言 / p70 (0041.jp2)
- 第4章 交流光電圧の周波数応答による少数キャリア寿命の測定 / p71 (0041.jp2)
- 4.1 緒言 / p71 (0041.jp2)
- 4.2 交流光電圧を利用した少数キャリア寿命測定法とその周波数特性 / p72 (0042.jp2)
- 4.3 試料裏面特性の交流光電圧に及ぼす影響 / p80 (0046.jp2)
- 4.4 1.15μmの近赤外光による少数キャリア寿命の測定と実験的検討 / p82 (0047.jp2)
- 4.5 交流光電圧の周波数応答によるγ線照射効果の検討 / p95 (0053.jp2)
- 4.6 1.15μmの近赤外光による少数キャリア寿命分布の測定 / p100 (0056.jp2)
- 4.7 結言 / p111 (0061.jp2)
- 第5章 二波長光を利用した少数キャリア寿命の測定 / p114 (0063.jp2)
- 5.1 緒言 / p114 (0063.jp2)
- 5.2 二波長法の原理 / p114 (0063.jp2)
- 5.3 試料厚さ依存性 / p119 (0065.jp2)
- 5.4 光導電減衰法との測定比較 / p139 (0075.jp2)
- 5.5 少数キャリア寿命の校正曲線 / p153 (0082.jp2)
- 5.6 結言 / p162 (0087.jp2)
- 第6章 シリコン単結晶の電気的特性評価への応用 / p164 (0088.jp2)
- 6.1 緒言 / p164 (0088.jp2)
- 6.2 シリコンインゴットの少数キャリア寿命測定 / p164 (0088.jp2)
- 6.3 太陽電池用FZシリコン単結晶の少数キャリア寿命測定 / p167 (0089.jp2)
- 6.4 熱酸化工程の少数キャリア寿命による評価 / p189 (0100.jp2)
- 6.5 照射損傷による帯電の測定評価 / p194 (0103.jp2)
- 6.6 交流表面光電圧による界面トラップの評価 / p199 (0105.jp2)
- 6.7 結言 / p204 (0108.jp2)
- 第7章 結論 / p206 (0109.jp2)
- 謝辞 / p209 (0110.jp2)
- 参考文献 / p210 (0111.jp2)