真空蒸着法によるCo-Cr垂直磁気テープの作製法に関する研究

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Author

    • 杉田, 龍二 スギタ, リュウジ

Bibliographic Information

Title

真空蒸着法によるCo-Cr垂直磁気テープの作製法に関する研究

Author

杉田, 龍二

Author(Another name)

スギタ, リュウジ

University

東北大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第5655号

Degree year

1991-12-11

Note and Description

博士論文

博士学位論文 (Thesis(doctor))

Table of Contents

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0005.jp2)
  3. 第1節 緒言 / p1 (0005.jp2)
  4. 第2節 本研究の目的 / p9 (0009.jp2)
  5. 第2章 Co-Crスパッタ膜の磁気特性と構造 / p16 (0013.jp2)
  6. 第1節 緒言 / p16 (0013.jp2)
  7. 第2節 磁気特性 / p16 (0013.jp2)
  8. §2-2-1 組成依存性 / p16 (0013.jp2)
  9. §2-2-2 ヒステリシス曲線 / p16 (0013.jp2)
  10. §2-2-3 トルク曲線 / p18 (0014.jp2)
  11. §2-2-4 垂直磁気異方性エネルギー / p20 (0015.jp2)
  12. §2-2-5 まとめ / p22 (0016.jp2)
  13. 第3節 構造 / p23 (0016.jp2)
  14. §2-3-1 結晶構造 / p23 (0016.jp2)
  15. §2-3-2 微視的膜構造 / p23 (0016.jp2)
  16. §2-3-3 磁化反転機構 / p24 (0017.jp2)
  17. §2-3-4 まとめ / p27 (0018.jp2)
  18. 第4節 結言 / p27 (0018.jp2)
  19. 第3章 真空蒸着法によるCo-Cr垂直磁気異方性膜の高速作製 / p28 (0019.jp2)
  20. 第1節 緒言 / p28 (0019.jp2)
  21. 第2節 高速薄膜作製の原理 / p28 (0019.jp2)
  22. §3-2-1 装置の概要と実験方法の概略 / p28 (0019.jp2)
  23. §3-2-2 高速作製における基本因子 / p32 (0021.jp2)
  24. 第3節 作製因子と磁気特性の関連 / p37 (0023.jp2)
  25. §3-3-1 不純物ガス / p38 (0024.jp2)
  26. §3-3-2 基板温度 / p44 (0027.jp2)
  27. §3-3-3 膜堆積速度 / p47 (0028.jp2)
  28. §3-3-4 真空蒸着法とスパッタ法の相違 / p48 (0029.jp2)
  29. 第4節 Co-Cr蒸着膜の作製速度 / p56 (0033.jp2)
  30. §3-4-1 膜堆積速度の限界 / p57 (0033.jp2)
  31. §3-4-2 蒸着部の面積 / p61 (0035.jp2)
  32. §3-4-3 蒸着効率と作製速度の推定 / p66 (0038.jp2)
  33. 第5節 結言 / p69 (0039.jp2)
  34. 第4章 Co-Cr蒸着膜の磁気特性と構造 / p71 (0040.jp2)
  35. 第1節 緒言 / p71 (0040.jp2)
  36. 第2節 磁気特性 / p71 (0040.jp2)
  37. §4-2-1 組成依存性 / p71 (0040.jp2)
  38. §4-2-2 ヒステリシス曲線 / p73 (0041.jp2)
  39. §4-2-3 トルク曲線 / p75 (0042.jp2)
  40. §4-2-4 垂直磁気異方性エネルギー / p75 (0042.jp2)
  41. §4-2-5 膜厚による変化 / p76 (0043.jp2)
  42. §4-2-6 まとめ / p76 (0043.jp2)
  43. 第3節 構造 / p78 (0044.jp2)
  44. §4-3-1 結晶構造 / p78 (0044.jp2)
  45. §4-3-2 微視的膜構造 / p81 (0045.jp2)
  46. §4-3-3 磁化反転機構 / p82 (0046.jp2)
  47. §4-3-4 まとめ / p84 (0047.jp2)
  48. 第4節 膜組成の微視的不均一性 / p84 (0047.jp2)
  49. §4-4-1 Co-Cr膜中の組成分布 / p85 (0047.jp2)
  50. §4-4-2 Crの偏析と飽和磁化 / p87 (0048.jp2)
  51. §4-4-3 保磁力の成因 / p91 (0050.jp2)
  52. §4-4-4 Crの偏析と磁化反転機構の関連 / p91 (0050.jp2)
  53. §4-4-5 Co-Cr以外のCo系合金膜 / p92 (0051.jp2)
  54. §4-4-6 まとめ / p93 (0051.jp2)
  55. 第5節 Co-Cr蒸着膜とCo-Crスパッタ膜との比較 / p93 (0051.jp2)
  56. §4-5-1 磁気特性 / p93 (0051.jp2)
  57. §4-5-2 構造 / p94 (0052.jp2)
  58. 第6節 結言 / p95 (0052.jp2)
  59. 第5章 Co-Cr蒸着膜における結晶成長制御 / p97 (0053.jp2)
  60. 第1節 緒言 / p97 (0053.jp2)
  61. 第2節 Co-Cr蒸着膜における結晶成長制御 / p97 (0053.jp2)
  62. §5-2-1 下地種類と結晶配向性 / p97 (0053.jp2)
  63. §5-2-1 エピタキシャル成長による結晶配向性の向上 / p98 (0054.jp2)
  64. 第3節 二層膜垂直磁気記録媒体の結晶配向性 / p104 (0057.jp2)
  65. §5-3-1 パーマロイ蒸着膜の結晶配向性 / p105 (0057.jp2)
  66. §5-3-2 二層膜垂直磁気記録媒体の結晶配向性と磁気特性 / p110 (0060.jp2)
  67. 第4節 軟磁性裏打ち層の磁気特性 / p118 (0064.jp2)
  68. §5-4-1 高速作製されたパーマロイ膜の磁気特性 / p118 (0064.jp2)
  69. §5-4-2 パーマロイ膜とCo-Cr膜の相互作用 / p120 (0065.jp2)
  70. §5-4-3 Ti磁気絶縁層による軟磁性裏打ち層の高効率化 / p125 (0067.jp2)
  71. §5-4-4 まとめ / p127 (0068.jp2)
  72. 第5節 結言 / p128 (0069.jp2)
  73. 第6章 垂直磁気記録媒体としての性能 / p130 (0070.jp2)
  74. 第1節 緒言 / p130 (0070.jp2)
  75. 第2節 単層膜媒体 / p130 (0070.jp2)
  76. §6-2-1 静磁気特性と記録密度特性の関連 / p131 (0070.jp2)
  77. §6-2-2 狭トラックリングヘッドによる単層膜媒体のCN比 / p144 (0077.jp2)
  78. §6-2-3 まとめ / p146 (0078.jp2)
  79. 第3節 二層膜媒体 / p148 (0079.jp2)
  80. §6-3-1 テープ用媒体に要求される機械的性質 / p148 (0079.jp2)
  81. §6-3-2 テープ用二層膜媒体の記録密度特性 / p150 (0080.jp2)
  82. 第4節 家庭用ディジタルVTRテープとしての可能性 / p154 (0082.jp2)
  83. §6-4-1 Co-Cr蒸着膜の表面酸化処理 / p154 (0082.jp2)
  84. §6-4-2 市販のVTRを用いた録画実験 / p157 (0083.jp2)
  85. §6-4-3 家庭用ディジタルVTRテープとしての可能性 / p158 (0084.jp2)
  86. 第5節 結言 / p160 (0085.jp2)
  87. 第7章 結論 / p162 (0086.jp2)
  88. 第1節 結果の概要 / p162 (0086.jp2)
  89. 第2節 今後の課題 / p165 (0087.jp2)
  90. 謝辞 / p167 (0088.jp2)
  91. 付録 / p168 (0089.jp2)
  92. 文献 / p180 (0095.jp2)
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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000082792
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000083001
  • DOI(NDL)
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000000247106
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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