散乱光の偏光特性を利用したLSIウェハ上異物検査装置の研究

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著者

    • 小泉, 光義 コイズミ, ミツヨシ

書誌事項

タイトル

散乱光の偏光特性を利用したLSIウェハ上異物検査装置の研究

著者名

小泉, 光義

著者別名

コイズミ, ミツヨシ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第9791号

学位授与年月日

1990-07-12

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 本研究の目的 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 本研究の異物検出手法 / p4 (0008.jp2)
  5. 1.3 従来の研究 / p9 (0013.jp2)
  6. 1.4 本研究の特徴 / p9 (0013.jp2)
  7. 第2章 パターン反射光の消光による異物の顕在化 / p11 (0015.jp2)
  8. 2.1 緒言 / p11 (0015.jp2)
  9. 2.2 パターン反射光の解析 / p11 (0015.jp2)
  10. 2.3 実験による検討 / p21 (0025.jp2)
  11. 2.4 結言 / p23 (0027.jp2)
  12. 2.5 付記 / p26 (0030.jp2)
  13. 第3章 検出信号比較法による異物・パターンの弁別 / p27 (0031.jp2)
  14. 3.1 緒言 / p27 (0031.jp2)
  15. 3.2 照明傾斜角度とパターン反射光の関係 / p27 (0031.jp2)
  16. 3.3 検出信号比較法による異物・パターンの弁別実験 / p33 (0037.jp2)
  17. 3.4 結言 / p43 (0047.jp2)
  18. 3.5 付記 / p43 (0047.jp2)
  19. 第4章 検出信号比較法における異物散乱光の解析 / p44 (0048.jp2)
  20. 4.1 緒言 / p44 (0048.jp2)
  21. 4.2 粒子からの散乱光の解析 / p44 (0048.jp2)
  22. 4.3 照明傾斜角度と異物散乱光の関係 / p49 (0053.jp2)
  23. 4.4 結言 / p59 (0063.jp2)
  24. 第5章 検出信号比軟法を用いた異物検査装置の試作と性能評価 / p62 (0066.jp2)
  25. 5.1 緒言 / p62 (0066.jp2)
  26. 5.2 装置の構成 / p62 (0066.jp2)
  27. 5.3 検出性能評価 / p68 (0072.jp2)
  28. 5.4 異物検査装置の活用法 / p71 (0075.jp2)
  29. 5.5 結言 / p75 (0079.jp2)
  30. 第6章 総括 / p76 (0080.jp2)
  31. 6.1 本研究の成果 / p76 (0080.jp2)
  32. 6.2 今後の課題 / p78 (0082.jp2)
  33. 謝辞 / p79 (0083.jp2)
  34. 参考文献 / p80 (0084.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000083118
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000083328
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000247432
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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