高速バイポーラ集積回路用U溝素子分離法の研究

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著者

    • 玉置, 洋一 タマキ, ヨウイチ

書誌事項

タイトル

高速バイポーラ集積回路用U溝素子分離法の研究

著者名

玉置, 洋一

著者別名

タマキ, ヨウイチ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第9830号

学位授与年月日

1990-09-19

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 内容梗概 / p3 (0004.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.1 まえがき / p1 (0005.jp2)
  5. 1.2 バイポーラ集積回路の研究開発における本論の位置付け / p2 (0006.jp2)
  6. 1.3 本論文の内容 / p4 (0007.jp2)
  7. 第2章 酸化膜分離プロセスにおける欠陥発生の研究 / p8 (0009.jp2)
  8. 2.1 まえがき / p8 (0009.jp2)
  9. 2.2 実験方法 / p9 (0009.jp2)
  10. 2.3 欠陥発生の選択酸化条件依存性 / p11 (0010.jp2)
  11. 2.4 選択酸化プロセスの最適化条件 / p15 (0012.jp2)
  12. 2.5 むすび / p19 (0014.jp2)
  13. 第3章 選択酸化プロセスにおける転位発生機構の研究 / p24 (0017.jp2)
  14. 3.1 まえがき / p24 (0017.jp2)
  15. 3.2 薄膜パターン端で発生する転位の性質 / p25 (0017.jp2)
  16. 3.3 Si₃N₄膜の応力とSi基板の降伏応力 / p26 (0018.jp2)
  17. 3.4 Si₃N₄膜エッジからの転位の発生 / p29 (0019.jp2)
  18. 3.5 SiO₂膜の応力緩和作用 / p32 (0021.jp2)
  19. 3.6 むすび / p34 (0022.jp2)
  20. 第4章 U溝分離法(U-Iso)のプロセスと分離特性 / p39 (0024.jp2)
  21. 4.1 まえがき / p39 (0024.jp2)
  22. 4.2 U-Isoの構造とプロセス / p40 (0025.jp2)
  23. 4.3 U-Isoの分離特性 / p43 (0026.jp2)
  24. 4.4 U-Isoのデバイスの特性 / p46 (0028.jp2)
  25. 4.5 むすび / p47 (0028.jp2)
  26. 第5章 U溝分離プロセスにおける欠陥発生の研究 / p53 (0031.jp2)
  27. 5.1 まえがき / p53 (0031.jp2)
  28. 5.2 実験方法 / p54 (0032.jp2)
  29. 5.3 欠陥発生のプロセス条件依存性 / p56 (0033.jp2)
  30. 5.4 欠陥発生の分離溝形状依存性 / p58 (0034.jp2)
  31. 5.5 むすび / p62 (0036.jp2)
  32. 第6章 U溝分離法の高速バイポーラデバイスへの応用 / p67 (0038.jp2)
  33. 6.1 まえがき / p67 (0038.jp2)
  34. 6.2 新U-Iso構造とその形成プロセス / p68 (0039.jp2)
  35. 6.3 トランジスタの高性能化 / p69 (0039.jp2)
  36. 6.4 バイポーラメモリヘ応用 / p72 (0041.jp2)
  37. 6.5 むすび / p73 (0041.jp2)
  38. 第7章 U溝分離法の限界と将来 / p80 (0045.jp2)
  39. 7.1 まえがき / p80 (0045.jp2)
  40. 7.2 U溝への酸化膜埋め込みと溝幅の限界 / p81 (0045.jp2)
  41. 7.3 バイポーラ・トランジスタ微細化の問題点 / p85 (0047.jp2)
  42. 7.4 むすび / p88 (0049.jp2)
  43. 第8章 結論 / p95 (0052.jp2)
  44. 謝辞 / p100 (0055.jp2)
  45. 参考文献 / p101 (0055.jp2)
  46. 本論文内容に関する公表論文 / p110 (0060.jp2)
  47. 著者学会講演 / p111 (0060.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000083157
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000083367
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000247471
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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