振動式圧力センサとその高性能化に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
振動式圧力センサとその高性能化に関する研究
- 著者名
-
池田, 恭一
- 著者別名
-
イケダ, キョウイチ
- 学位授与大学
-
東京大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第9885号
- 学位授与年月日
-
1990-11-15
注記・抄録
博士論文
目次
- 〈目次〉 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 研究の背景と目的 / p3 (0005.jp2)
- 1.1 緒言 / p3 (0005.jp2)
- 1.2 従来の振動式圧力センサとそれらの問題点 / p6 (0008.jp2)
- 1.3 研究の経緯と概要 / p11 (0013.jp2)
- 1.4 本論文の構成 / p13 (0015.jp2)
- 第1章の参考文献 / p14 (0016.jp2)
- 第2章 円筒振動式圧力センサの高性能化の研究 / p16 (0018.jp2)
- 2.1 緒言 / p16 (0018.jp2)
- 2.2 円筒振動子の性質 / p18 (0020.jp2)
- 2.3 多重モード発振による円筒振動式圧力センサの高性能化 / p32 (0034.jp2)
- 2.4 円筒振動式圧力センサの耐環境性能の改善 / p46 (0048.jp2)
- 2.5 結語 / p66 (0068.jp2)
- 第2章の参考文献 / p68 (0070.jp2)
- 第3章 シリコン振動子の研究 / p70 (0072.jp2)
- 3.1 緒言 / p70 (0072.jp2)
- 3.2 シリコンを用いた振動式センサの研究動向 / p73 (0075.jp2)
- 3.3 シリコン振動子の研究経過の概要 / p76 (0078.jp2)
- 3.4 シリコンのエッチング技術の開発 / p80 (0082.jp2)
- 3.5 セルフアライン選択エピタキシャルによる振動子と真空室の加工 / p91 (0093.jp2)
- 3.6 圧電駆動振動子及び電磁駆動振動子の試作｡ / p97 (0099.jp2)
- 3.7 シリコン振動子の圧力センサへの応用 / p103 (0105.jp2)
- 3.8 結語 / p111 (0113.jp2)
- 第3章の参考文献 / p113 (0115.jp2)
- 第4章 結論 / p116 (0118.jp2)
- 謝辞 / p118 (0120.jp2)
- <付録>円筒振動式密度センサの高性能化 / p119 (0121.jp2)
- APX.1 概要 / p119 (0121.jp2)
- APX.2 円筒振動式密度センサの構造と動作原理 / p120 (0122.jp2)
- APX.3 粘性の変化による固有振動数の変化とその補償法 / p124 (0126.jp2)
- APX.4 センサの試作と密度校正 / p128 (0130.jp2)
- APX.5 試作センサの特性 / p132 (0134.jp2)
- 付録の参考文献 / p135 (0137.jp2)
