振動式圧力センサとその高性能化に関する研究

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著者

    • 池田, 恭一 イケダ, キョウイチ

書誌事項

タイトル

振動式圧力センサとその高性能化に関する研究

著者名

池田, 恭一

著者別名

イケダ, キョウイチ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第9885号

学位授与年月日

1990-11-15

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 〈目次〉 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 研究の背景と目的 / p3 (0005.jp2)
  3. 1.1 緒言 / p3 (0005.jp2)
  4. 1.2 従来の振動式圧力センサとそれらの問題点 / p6 (0008.jp2)
  5. 1.3 研究の経緯と概要 / p11 (0013.jp2)
  6. 1.4 本論文の構成 / p13 (0015.jp2)
  7. 第1章の参考文献 / p14 (0016.jp2)
  8. 第2章 円筒振動式圧力センサの高性能化の研究 / p16 (0018.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p16 (0018.jp2)
  10. 2.2 円筒振動子の性質 / p18 (0020.jp2)
  11. 2.3 多重モード発振による円筒振動式圧力センサの高性能化 / p32 (0034.jp2)
  12. 2.4 円筒振動式圧力センサの耐環境性能の改善 / p46 (0048.jp2)
  13. 2.5 結語 / p66 (0068.jp2)
  14. 第2章の参考文献 / p68 (0070.jp2)
  15. 第3章 シリコン振動子の研究 / p70 (0072.jp2)
  16. 3.1 緒言 / p70 (0072.jp2)
  17. 3.2 シリコンを用いた振動式センサの研究動向 / p73 (0075.jp2)
  18. 3.3 シリコン振動子の研究経過の概要 / p76 (0078.jp2)
  19. 3.4 シリコンのエッチング技術の開発 / p80 (0082.jp2)
  20. 3.5 セルフアライン選択エピタキシャルによる振動子と真空室の加工 / p91 (0093.jp2)
  21. 3.6 圧電駆動振動子及び電磁駆動振動子の試作。 / p97 (0099.jp2)
  22. 3.7 シリコン振動子の圧力センサへの応用 / p103 (0105.jp2)
  23. 3.8 結語 / p111 (0113.jp2)
  24. 第3章の参考文献 / p113 (0115.jp2)
  25. 第4章 結論 / p116 (0118.jp2)
  26. 謝辞 / p118 (0120.jp2)
  27. <付録>円筒振動式密度センサの高性能化 / p119 (0121.jp2)
  28. APX.1 概要 / p119 (0121.jp2)
  29. APX.2 円筒振動式密度センサの構造と動作原理 / p120 (0122.jp2)
  30. APX.3 粘性の変化による固有振動数の変化とその補償法 / p124 (0126.jp2)
  31. APX.4 センサの試作と密度校正 / p128 (0130.jp2)
  32. APX.5 試作センサの特性 / p132 (0134.jp2)
  33. 付録の参考文献 / p135 (0137.jp2)
4アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000083212
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000083422
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000247526
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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