半導体製造装置における超精密光学系の研究

この論文をさがす

著者

    • 鈴木, 章義 スズキ, アキヨシ

書誌事項

タイトル

半導体製造装置における超精密光学系の研究

著者名

鈴木, 章義

著者別名

スズキ, アキヨシ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第10024号

学位授与年月日

1991-02-14

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 緒言 / p1 (0004.jp2)
  3. 第1章 IC製造光学系でのパーシャリーコヒーレント結像論 / p4 (0006.jp2)
  4. §1-1 緒言 / p4 (0006.jp2)
  5. §1-2 基本式の導出 / p5 (0006.jp2)
  6. §1-3 理想結像 / p10 (0009.jp2)
  7. §1-4 デフォーカス / p22 (0015.jp2)
  8. §1-5 結語 / p31 (0019.jp2)
  9. References / p32 (0020.jp2)
  10. 第2章 ミラー結像系の解析 / p43 (0025.jp2)
  11. §2-1 緒言 / p43 (0025.jp2)
  12. §2-2 等倍2枚鏡系の定性的説明 / p43 (0025.jp2)
  13. §2-3 基本的諸量の導出 / p47 (0027.jp2)
  14. §2-4 像面特性の解析 / p52 (0030.jp2)
  15. §2-5 メリジオナル結像の解析 / p63 (0035.jp2)
  16. §2-6 サジタル結像の解析 / p71 (0039.jp2)
  17. §2-7 数値例 / p76 (0042.jp2)
  18. §2-8 2枚鏡系の発展 / p78 (0043.jp2)
  19. §2-9 結語 / p79 (0043.jp2)
  20. References / p80 (0044.jp2)
0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000083351
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000083561
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000247665
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ