エポキシ樹脂のプラズマコーティングに関する研究

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著者

    • 小海, 秀樹 コカイ, ヒデキ

書誌事項

タイトル

エポキシ樹脂のプラズマコーティングに関する研究

著者名

小海, 秀樹

著者別名

コカイ, ヒデキ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第10032号

学位授与年月日

1991-02-14

注記・抄録

博士論文

目次

  1. もくじ / p1 (0003.jp2)
  2. 第一章 序文 / p1 (0005.jp2)
  3. 1-1 エポキシ樹脂の高機能化 / p1 (0005.jp2)
  4. 1-2 コーテイングプロセス / p3 (0006.jp2)
  5. 1-3 非平衡プラズマプロセス / p5 (0007.jp2)
  6. 1-4 カーボン膜 / p9 (0009.jp2)
  7. 1-5 酸化亜鉛膜 / p12 (0011.jp2)
  8. 1-6 カーボン膜,酸化亜鉛膜の選択について / p14 (0012.jp2)
  9. 1-7 本論文の構成 / p16 (0013.jp2)
  10. 第一章文献 / p18 (0014.jp2)
  11. 第二章 高周波放電プラズマコーテイング / p21 (0015.jp2)
  12. 2-1 概説 / p21 (0015.jp2)
  13. 2-2 非晶質炭素膜堆積 / p23 (0016.jp2)
  14. 2-3 酸化亜鉛膜堆積 / p31 (0020.jp2)
  15. 2-4 考察 / p51 (0030.jp2)
  16. 2-5 まとめ / p56 (0033.jp2)
  17. 第二章文献 / p59 (0034.jp2)
  18. 第三章 ECRプラズマコーテイング / p61 (0035.jp2)
  19. 3-1 概説 / p61 (0035.jp2)
  20. 3-2 プローブ測定装置 / p65 (0037.jp2)
  21. 3-3 酸化亜鉛膜堆積 / p67 (0038.jp2)
  22. 3-4 考察 / p81 (0045.jp2)
  23. 3-5 まとめ / p82 (0046.jp2)
  24. 第三章文献 / p83 (0046.jp2)
  25. 第四章 プラズマコーテイングのモデル化 / p85 (0047.jp2)
  26. 4-1 概説 / p85 (0047.jp2)
  27. 4-2 プラズマ柱内外におけるイオンflux密度 / p86 (0048.jp2)
  28. 4-3 イオンシースポテンシャル / p89 (0049.jp2)
  29. 4-4 蒸発亜鉛原子のECRプラズマ内の電離について / p91 (0050.jp2)
  30. 4-5 成膜面に達する酸素,亜鉛原子のflux密度 / p94 (0052.jp2)
  31. 4-6 10⁻⁴Torr台のプラズマにおける成膜モデル / p98 (0054.jp2)
  32. 4-7 まとめ / p99 (0054.jp2)
  33. 第四章文献 / p100 (0055.jp2)
  34. 第五章 総括 / p101 (0055.jp2)
  35. 第五章文献 / p104 (0057.jp2)
  36. 謝辞 / p105 (0057.jp2)
  37. 論文目録 / p106 (0058.jp2)
  38. Appendix A / p109 (0059.jp2)
  39. Appendix B / p115 (0062.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000083359
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000083569
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000247673
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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