STM/AFMによる機械加工面形状の超精密測定に関する研究

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著者

    • 単, 学伝 タン, ガクデン

書誌事項

タイトル

STM/AFMによる機械加工面形状の超精密測定に関する研究

著者名

単, 学伝

著者別名

タン, ガクデン

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第4601号

学位授与年月日

1992-03-27

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0006.jp2)
  2. 記号一覧表 / p5 (0010.jp2)
  3. 第1章 緒論 / p1 (0013.jp2)
  4. 第1節 本研究の背景と目的 / p1 (0013.jp2)
  5. 第2節 本研究の内容 / p6 (0018.jp2)
  6. 第3節 本論文の構成と概要 / p8 (0020.jp2)
  7. 参考文献 / p9 (0021.jp2)
  8. 第2章 STMの原理及び通常型STMの試作 / p12 (0024.jp2)
  9. 第1節 緒言 / p12 (0024.jp2)
  10. 第2節 STMの基本原理 / p13 (0025.jp2)
  11. 2.2.1 トンネル現象 / p13 (0025.jp2)
  12. 2.2.2 STMの基本構造による走査と顕微動作 / p14 (0026.jp2)
  13. 2.2.3 STMの制御方式 / p15 (0027.jp2)
  14. 2.2.4 STMの性能を決める要因 / p15 (0027.jp2)
  15. 第3節 微動走査・制御機構 / p16 (0028.jp2)
  16. 2.3.1 バイモルフ型STMの微動機構 / p16 (0028.jp2)
  17. 2.3.2 積層型STMの微動機構 / p19 (0031.jp2)
  18. 2.3.3 粗動機構 / p21 (0033.jp2)
  19. 2.3.4 STM探針の製作 / p23 (0035.jp2)
  20. 第4節 試作STMの設置環境 / p23 (0035.jp2)
  21. 第5節 STM測定システム / p24 (0036.jp2)
  22. 第6節 STM装置の校正と評価 / p25 (0037.jp2)
  23. 2.6.1 STMの校正 / p25 (0037.jp2)
  24. 2.6.2 ドリフトの評価 / p27 (0039.jp2)
  25. 第7節 則定結果 / p28 (0040.jp2)
  26. 2.7.1 グラファイト結晶面の観察 / p28 (0040.jp2)
  27. 2.7.2 繰り返し測定 / p29 (0041.jp2)
  28. 第8節 結言 / p30 (0042.jp2)
  29. 参考文献 / p30 (0042.jp2)
  30. 第3章 探針先端形状の影響 / p32 (0044.jp2)
  31. 第1節 緒言 / p32 (0044.jp2)
  32. 第2節 STMの分解能について / p33 (0045.jp2)
  33. 3.2.1 STMの面内分解能 / p33 (0045.jp2)
  34. 3.2.2 STMの垂直分解能 / p34 (0046.jp2)
  35. 第3節 シミュレーションによる考察 / p34 (0046.jp2)
  36. 3.3.1 シミュレーションの方法 / p34 (0046.jp2)
  37. 3.3.2 シミュレーション結果と考察 / p35 (0047.jp2)
  38. 第4節 実測結果と考察 / p40 (0052.jp2)
  39. 第5節 結言 / p42 (0054.jp2)
  40. 参考文献 / p43 (0055.jp2)
  41. 第4章 スキッド式STMの開発 / p44 (0056.jp2)
  42. 第1節 緒言 / p44 (0056.jp2)
  43. 第2節 スキッド式STMの原理 / p45 (0057.jp2)
  44. 4.2.1 スキッドの概念 / p45 (0057.jp2)
  45. 4.2.2 スキッド式STMの原理 / p45 (0057.jp2)
  46. 4.2.3 信号処理 / p47 (0059.jp2)
  47. 4.2.4 スキッド式STMの走査方向 / p48 (0060.jp2)
  48. 第3節 スキッド式STMの構成 / p50 (0062.jp2)
  49. 4.3.1 測定系機械部 / p50 (0062.jp2)
  50. 4.3.2 走査ステージ / p51 (0063.jp2)
  51. 4.3.3 測定システム / p52 (0064.jp2)
  52. 第4節 走査ステージの校正 / p53 (0065.jp2)
  53. 4.4.1 校正方法 / p53 (0065.jp2)
  54. 4.4.2 走査方向(X軸方向)の移動特性 / p54 (0066.jp2)
  55. 4.4.3 Y軸方向の移動特性 / p57 (0069.jp2)
  56. 第5節 スキッド式STMの振動除去特性 / p59 (0071.jp2)
  57. 4.5.1 振動除去特性の測定法 / p59 (0071.jp2)
  58. 4.5.2 振動除去特性 / p59 (0071.jp2)
  59. 第6節 スキッド式STMの改良 / p63 (0075.jp2)
  60. 第7節 スキッド式STMのドリフト特性 / p66 (0078.jp2)
  61. 4.7.1 STM測定とドリフトの基本関係 / p66 (0078.jp2)
  62. 4.7.2 STMの構造とドリフトの原因 / p66 (0078.jp2)
  63. 4.7.3 ドリフトを考慮した設計の基準 / p69 (0081.jp2)
  64. 4.7.4 試作機の構造とZ方向の温度感受性 / p70 (0082.jp2)
  65. 4.7.5 実験結果と考察 / p71 (0083.jp2)
  66. 第8節 スキッド式STMによる測定 / p76 (0088.jp2)
  67. 4.8.1 スキッド式STMにおける測定の基準 / p76 (0088.jp2)
  68. 4.8.2 スキッド式STMによる大ストローク測定 / p79 (0091.jp2)
  69. 第9節 結言 / p84 (0096.jp2)
  70. 参考文献 / p85 (0097.jp2)
  71. 第5章 ミリスケールSTMの開発 / p86 (0098.jp2)
  72. 第1節 緒言 / p86 (0098.jp2)
  73. 第2節 ミリスケールSTMの構成 / p87 (0099.jp2)
  74. 第3節 ミリスケールSTMの特性評価 / p89 (0101.jp2)
  75. 5.3.1 ステージ及び位置決め機構の評価 / p89 (0101.jp2)
  76. 5.3.2 ドリフト及び振動除去特性の評価 / p92 (0104.jp2)
  77. 5.3.3 ステージ移動誤差の除去 / p97 (0109.jp2)
  78. 第4節 ミリスケールSTMよる測定 / p98 (0110.jp2)
  79. 第5節 結言 / p101 (0113.jp2)
  80. 参考文献 / p101 (0113.jp2)
  81. 第6章 角変位検出型AFMの開発 / p103 (0115.jp2)
  82. 第1節 緒言 / p103 (0115.jp2)
  83. 第2節 AFMの原理 / p105 (0117.jp2)
  84. 第3節 カンチレバーの製作 / p106 (0118.jp2)
  85. 第4節 光てこ式AFMの試作及び回折格子の観察 / p109 (0121.jp2)
  86. 6.4.1 光てこ式AFMの原理 / p109 (0121.jp2)
  87. 6.4.2 光てこ式AFMの試作及び改善 / p110 (0122.jp2)
  88. 6.4.3 回折格子の測定 / p111 (0123.jp2)
  89. 第5節 カンチレバー駆動型AFMの原理 / p115 (0127.jp2)
  90. 第6節 臨界角角度センサ / p116 (0128.jp2)
  91. 6.6.1 角変位検出によるAFMの原理 / p116 (0128.jp2)
  92. 6.6.2 臨界角角度センサの原理 / p117 (0129.jp2)
  93. 6.6.3 臨界角角度センサの理論評価 / p119 (0131.jp2)
  94. 6.6.4 実験による角度センサの出力感度 / p122 (0134.jp2)
  95. 6.6.5 角度センサのドリフト特性 / p123 (0135.jp2)
  96. 第7節 角変位検出型AFMの製作 / p126 (0138.jp2)
  97. 6.7.1 角変位検出型AFMの構成 / p126 (0138.jp2)
  98. 6.7.2 角変位検出型AFMの特長 / p129 (0141.jp2)
  99. 第8節 角変位検出型AFMの評価 / p130 (0142.jp2)
  100. 6.8.1 走査ステージの特性 / p130 (0142.jp2)
  101. 6.8.2 ドリフトの評価 / p133 (0145.jp2)
  102. 第9節 角変位検出型AFMによる測定 / p134 (0146.jp2)
  103. 6.9.1 測定システム / p134 (0146.jp2)
  104. 6.9.2 原子間力の測定 / p135 (0147.jp2)
  105. 6.9.3 コンデンサー挿入法の有効性 / p138 (0150.jp2)
  106. 6.9.4 二次元測定 / p138 (0150.jp2)
  107. 6.9.5 三次元測定 / p141 (0153.jp2)
  108. 第10節 結言 / p146 (0158.jp2)
  109. 参考文献 / p147 (0159.jp2)
  110. 第7章 原理の違うセンサによる比較測定 / p149 (0161.jp2)
  111. 第1節 緒言 / p149 (0161.jp2)
  112. 第2節 比較測定 / p150 (0162.jp2)
  113. 7.2.1 ミリスケールSTMと光触針との比較測定 / p150 (0162.jp2)
  114. 7.2.2 AFMと他の装置との比較測定 / p156 (0168.jp2)
  115. 第3節 結言 / p159 (0171.jp2)
  116. 参考文献 / p159 (0171.jp2)
  117. 第8章 結論 / p161 (0173.jp2)
  118. 謝辞 / p164 (0176.jp2)
  119. 付録:本研究と関連する研究論文及び口頭発表 / p166 (0178.jp2)
1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000084989
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000085202
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000249303
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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