Fraunhofer回折による超精密加工表面テクスチャの測定評価法に関する研究

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著者

    • 高谷, 裕浩 タカヤ, ヤスヒロ

書誌事項

タイトル

Fraunhofer回折による超精密加工表面テクスチャの測定評価法に関する研究

著者名

高谷, 裕浩

著者別名

タカヤ, ヤスヒロ

学位授与大学

北海道大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第3040号

学位授与年月日

1992-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0008.jp2)
  3. 1.1節 本研究の背景 / p1 (0008.jp2)
  4. 1.2節 超精密加工表面テクスチャの測定評価における問題点 / p4 (0011.jp2)
  5. 1.3節 本研究の目的と概要 / p13 (0020.jp2)
  6. 謝辞 / p17 (0024.jp2)
  7. 本論文中で使用する主な記号 / p18 (0025.jp2)
  8. 第2章 超精密加工技術の現状と本研究に関連する測定法の問題点 / p21 (0028.jp2)
  9. 2.1節 超精密技術の研究開発課題と本研究の位置づけ / p22 (0029.jp2)
  10. 2.2節 超精密加工技術の現状 / p26 (0033.jp2)
  11. 2.3節 超精密加工表面の表面粗さ測定における問題点 / p54 (0061.jp2)
  12. 2.4節 超精密加工表面の微細欠陥､付着異物測定における問題点 / p81 (0088.jp2)
  13. 2.5節 表面微細溝形状測定における問題点 / p88 (0095.jp2)
  14. 2.6節 光学的フーリエ変換による表面テクスチャの特徴抽出原理 / p92 (0099.jp2)
  15. 2.7節 結論 / p96 (0103.jp2)
  16. 第3章 光学的フーリエ変換の原理 / p99 (0106.jp2)
  17. 3.1節 Kirchhoffの回折理論と回折波の伝播 / p101 (0108.jp2)
  18. 3.2節 Fraunhofer回折像 / p113 (0120.jp2)
  19. 3.3節 表面テクスチャとFraunhofer回折光強度の関係 / p122 (0129.jp2)
  20. 3.4節 結論 / p127 (0134.jp2)
  21. 第4章 Fraunhofer回折による周期的表面粗さの測定評価法 / p128 (0135.jp2)
  22. 4.1節 周期的表面粗さの測定原理 / p130 (0137.jp2)
  23. 4.2節 計算機シミュレーション / p146 (0153.jp2)
  24. 4.3節 超精密ダイヤモンド切削表面粗さの測定実験 / p157 (0164.jp2)
  25. 4.4節 磁気ディスクのオンマシン計測 / p171 (0178.jp2)
  26. 4.5節 切削加工プロセスの推定 / p202 (0209.jp2)
  27. 4.6節 結論 / p216 (0223.jp2)
  28. 第5章 Fraunhofer回折によるランダム表面粗さの測定評価法 / p219 (0226.jp2)
  29. 5.1節 ランダム表面粗さの測定原理 / p221 (0228.jp2)
  30. 5.2節 計算機シミュレーション / p242 (0249.jp2)
  31. 5.3節 超精密鏡面研磨加工されたシリコンウェハによる検証実験 / p251 (0258.jp2)
  32. 5.4節 加工工程のモニタリング / p277 (0284.jp2)
  33. 5.5節 結論 / p282 (0289.jp2)
  34. 第6章 超精密加工表面における表面欠陥､付着異物の検出と測定評価法 / p284 (0291.jp2)
  35. 6.1節 三角形微細傷による回折光強度分布の解析 / p286 (0293.jp2)
  36. 6.2節 三角形微細傷による回折光強度測定実験 / p294 (0301.jp2)
  37. 6.3節 集光ビームモデルによる微細傷の散乱特性解析 / p312 (0319.jp2)
  38. 6.4節 付着異物による回折パターンの解析 / p336 (0343.jp2)
  39. 6.5節 偏光･回折光学系による付着異物検出の基礎実験 / p351 (0358.jp2)
  40. 6.6節 偏光度測定によるピンホールの検出 / p361 (0368.jp2)
  41. 6.7節 結論 / p370 (0377.jp2)
  42. 第7章 表面微細溝形状の測定評価法 / p372 (0379.jp2)
  43. 7.1節 矩形溝形状パラメータの測定原理 / p374 (0381.jp2)
  44. 7.2節 計算機シミュレーション / p396 (0403.jp2)
  45. 7.3節 矩形溝形状パラメータの測定評価実験 / p407 (0414.jp2)
  46. 7.4節 逆散乱位相法による微細溝形状測定理論 / p427 (0434.jp2)
  47. 7.5節 結論 / p441 (0448.jp2)
  48. 第8章 結論 / p443 (0450.jp2)
  49. 参考文献 / p448 (0455.jp2)
13アクセス

プレビュー

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000085276
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000085490
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000249590
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション

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