レーザを用いたインプロセス形状測定技術の研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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レーザを用いたインプロセス形状測定技術の研究
- 著者名
-
浅野, 有一郎
- 著者別名
-
アサノ, ユウイチロウ
- 学位授与大学
-
豊橋技術科学大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第28号
- 学位授与年月日
-
1992-03-11
注記・抄録
博士論文
目次
- 論文要旨 / (0003.jp2)
- 目次 / p1 (0008.jp2)
- 第1章 緒言 / p1 (0011.jp2)
- 第2章 インプロセス形状測定におけるレーザ適用の問題点と解決の方策 / p3 (0013.jp2)
- 2.1 インプロセス形状測定におけるレーザ適用の現状 / p3 (0013.jp2)
- 2.2 インプロセス形状測定におけるレーザ適用の問題点 / p8 (0018.jp2)
- 2.3 問題点解決のための基本方策 / p10 (0020.jp2)
- 〔第2章の参考文献〕 / p13 (0023.jp2)
- 第3章 幾何光学的方法によるマクロ形状の測定-高炉内原料面形状のインプロセス測定- / p16 (0026.jp2)
- 3.1 研究の目的と従来技術 / p16 (0026.jp2)
- 3.2 従来技術の問題点 / p20 (0030.jp2)
- 3.3 レーザ方式の特長と測定原理 / p21 (0031.jp2)
- 3.4 問題点解決のための各種新技術 / p27 (0037.jp2)
- 3.5 小型高炉用システムへの適用 / p30 (0040.jp2)
- 3.6 大型高炉用システムへの適用 / p34 (0044.jp2)
- 3.7 装置性能の評価 / p42 (0052.jp2)
- 3.8 測定結果の操業への活用 / p43 (0053.jp2)
- 3.9 第3章のまとめ / p48 (0058.jp2)
- 〔第3章の参考文献〕 / p49 (0059.jp2)
- 第4章 波動光学的方法によるミクロ形状の測定-鋼板表面粗度および光沢のオンライン測定- / p50 (0060.jp2)
- 4.1 研究の目的と従来技術 / p50 (0060.jp2)
- 4.2 従来技術の問題点 / p53 (0063.jp2)
- 4.3 粗面による光散乱の理論的考察と新知見 / p56 (0066.jp2)
- 4.4 光反射強度および粗度測定実験 / p68 (0078.jp2)
- 4.5 オンライン粗度測定システムの開発と操業への活用 / p78 (0088.jp2)
- 4.6 粗度測定に関するまとめ / p82 (0092.jp2)
- 4.7 光沢測定の必要性と従来技術の問題点 / p83 (0093.jp2)
- 4.8 光沢と粗度の相関関係の実験的考察と新知見 / p84 (0094.jp2)
- 4.9 オンライン光沢測定システムの開発と操業への活用 / p88 (0098.jp2)
- 4.10 光沢測定に関するまとめ / p91 (0101.jp2)
- 4.11 第4章のまとめ / p92 (0102.jp2)
- 〔第4章の参考文献〕 / p93 (0103.jp2)
- 第5章 分光学的方法による低濃度ガスの密度分布形状測定-プラズマCVDプロセスにおけるSiHラジカルの測定- / p94 (0104.jp2)
- 5.1 研究の背景と目的 / p94 (0104.jp2)
- 5.2 従来技術とその問題点 / p98 (0108.jp2)
- 5.3 プラズマ中ラジカル検出へのレーザ誘起蛍光法の適用 / p100 (0110.jp2)
- 5.4 レーザ誘起蛍光法によるSiH密度分布形状の測定 / p106 (0116.jp2)
- 5.5 発光分光法データのAbel逆変換 / p109 (0119.jp2)
- 5.6 発光分光法データのAbel逆変換よる[化学式]密度分布形状の産出 / p114 (0124.jp2)
- 5.7 SiHおよび[化学式]密度分布の基板温度依存性測定への応用 / p118 (0128.jp2)
- 5.8 第5章のまとめ / p130 (0140.jp2)
- 〔第5章の参考文献〕 / p132 (0142.jp2)
- 第6章 結論 / p135 (0145.jp2)
- 〔謝辞〕 / p140 (0150.jp2)