Studies of fluorides/sulfur-treated GaAs interfaces and their applications to MIS devices 弗化物/硫黄処理GaAs界面の評価とMISデバイスへの応用に関する研究

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著者

    • Ricard, Herve リカー, エルヴェ

書誌事項

タイトル

Studies of fluorides/sulfur-treated GaAs interfaces and their applications to MIS devices

タイトル別名

弗化物/硫黄処理GaAs界面の評価とMISデバイスへの応用に関する研究

著者名

Ricard, Herve

著者別名

リカー, エルヴェ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2497号

学位授与年月日

1992-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 1 INTRODUCTION / (0009.jp2)
  3. 1-1 purpose of this study / p6 (0010.jp2)
  4. 1-2 History of GaAs passivation / p7 (0011.jp2)
  5. 1-3 The most promising process:(NH₄)₂Sx / p12 (0016.jp2)
  6. 2 EXPERIMENTAL PROCEDURE / (0018.jp2)
  7. 2-1 Introduction / p14 (0019.jp2)
  8. 2-2 Experimental procedure / p16 (0021.jp2)
  9. 3 CHARACTERIZATION OF GaF₃/GaAs(SULFUR TREATED) / (0033.jp2)
  10. 3-1 Introduction / p28 (0034.jp2)
  11. 3-2 Properties of gallium fluoride(GaF₃) / p28 (0034.jp2)
  12. 3-3 Physico-chemical characterizations / p29 (0035.jp2)
  13. 3-4 Electrical characterizations / p33 (0039.jp2)
  14. 4 CHARACTERIZATIONS OF CaF₂/GaAs(SULFUR TREATED) / (0063.jp2)
  15. 4-1 Presentation of the past results / p57 (0064.jp2)
  16. 4-2 The properties of CaF₂ / p57 (0064.jp2)
  17. 4-3 Physico-chemical characterizations / p58 (0065.jp2)
  18. 4-4 Electrical characterizations / p62 (0069.jp2)
  19. 4-5 Conclusion / p69 (0076.jp2)
  20. 5 COMPARISON BETWEEN GaF₃/GaAs AND CaF₂ / GaAs STRUCTURES (0078.jp2)
  21. 5-1 Introduction / p71 (0079.jp2)
  22. 5-2 Model for sulfur treated GaAs surface / p71 (0079.jp2)
  23. 5-3 Modeling the GaF₃/S/GaAs interface / p75 (0083.jp2)
  24. 5-4 Modeling the CaF₂/S/GaAs interface / p77 (0085.jp2)
  25. 5-5 Conclusion / p79 (0087.jp2)
  26. 6 FINAL CONCLUSION AND FUTURE PROSPECTS / p81 (0089.jp2)
  27. References / p85 (0093.jp2)
  28. Acknowledgements / p88 (0096.jp2)
  29. List of publications / p89 (0097.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000088431
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000088650
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000252745
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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