微結晶化シリコン系薄膜の物性とセンサへの応用に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
微結晶化シリコン系薄膜の物性とセンサへの応用に関する研究
- Author
-
古田土, 節夫
- Author(Another name)
-
コダト, セツオ
- University
-
東京工業大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
乙第2207号
- Degree year
-
1991-04-30
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 論文目録 / (0002.jp2)
- 《目次》 / p1 (0004.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0008.jp2)
- 1.1 本研究の目的と構成 / p1 (0008.jp2)
- 1.2 研究の歴史的背景 / p4 (0011.jp2)
- 1.3 まとめ / p16 (0023.jp2)
- 第2章 微結晶化シリコン系薄膜の伝導機構とその作製 / p17 (0024.jp2)
- 2.1 はじめに / p17 (0024.jp2)
- 2.2 薄膜の電気伝導機構 / p17 (0024.jp2)
- 2.3 微結晶化薄膜の作製法 / p25 (0032.jp2)
- 2.4 プラズマCVD法による微結晶化薄膜の形成 / p26 (0033.jp2)
- 2.5 まとめ / p34 (0041.jp2)
- 第3章 微結晶化シリコン系薄膜の感温効果 / p37 (0044.jp2)
- 3.1 はじめに / p37 (0044.jp2)
- 3.2 微結晶化薄膜の感温効果の原理 / p37 (0044.jp2)
- 3.3 素子の作製および評価 / p38 (0045.jp2)
- 3.4 感温センサとしての諸特性とその考察 / p43 (0050.jp2)
- 3.5 まとめ / p50 (0057.jp2)
- 第4章 微結晶化シリコン系薄膜の熱電効果 / p51 (0058.jp2)
- 4.1 はじめに / p51 (0058.jp2)
- 4.2 微結晶化薄膜の熱電効果の原理 / p51 (0058.jp2)
- 4.3 素子の作製および評価方法 / p55 (0062.jp2)
- 4.4 熱電効果の諸特性とその考察 / p58 (0065.jp2)
- 4.5 まとめ / p75 (0082.jp2)
- 第5章 微結晶化Si:H:F薄膜のピエゾ抵抗効果 / p76 (0083.jp2)
- 5.1 はじめに / p76 (0083.jp2)
- 5.2 ピエゾ抵抗効果の原理 / p76 (0083.jp2)
- 5.3 素子の作製および評価 / p84 (0091.jp2)
- 5.4 ひずみ抵抗素子としての諸特性とその考察 / p86 (0093.jp2)
- 5.5 まとめ / p90 (0097.jp2)
- 第6章 微結晶化Si:Ge薄膜を用いたマイクロ波パワーセンサ / p91 (0098.jp2)
- 6.1 はじめに / p91 (0098.jp2)
- 6.2 素子構造 / p91 (0098.jp2)
- 6.3 マイクロ波パワーセンサとしての諸特性 / p94 (0101.jp2)
- 6.4 考察 / p98 (0105.jp2)
- 6.5 まとめ / p99 (0106.jp2)
- 第7章 微結晶化Si:H:F薄膜を用いた集積化パワーセンサ / p101 (0108.jp2)
- 7.1 はじめに / p101 (0108.jp2)
- 7.2 双子型薄膜熱電対の構造 / p102 (0109.jp2)
- 7.3 集積化パワーセンサとしての諸特性 / p104 (0111.jp2)
- 7.4 考察 / p108 (0115.jp2)
- 7.5 まとめ / p111 (0118.jp2)
- 第8章 微結晶化Si:H:F薄膜を用いたひずみセンサ / p112 (0119.jp2)
- 8.1 はじめに / p112 (0119.jp2)
- 8.2 片持ち梁ロードセル / p112 (0119.jp2)
- 8.3 触覚センサ / p121 (0128.jp2)
- 8.4 まとめ / p127 (0134.jp2)
- 第9章 多機能･大面積センサとしての展望 / p128 (0135.jp2)
- 9.1 はじめに / p128 (0135.jp2)
- 9.2 大面積赤外線センサ / p128 (0135.jp2)
- 9.3 皮膚センサ / p133 (0140.jp2)
- 9.4 まとめ / p140 (0147.jp2)
- 第10章 結論 / p141 (0148.jp2)
- 謝辞 / p145 (0152.jp2)
- 参考文献 / p146 (0153.jp2)
- 発表文献リスト / p151 (0158.jp2)