水晶振動子と流体との相互作用の解析と真空計への応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
水晶振動子と流体との相互作用の解析と真空計への応用に関する研究
- 著者名
-
伊藤, 秀明
- 著者別名
-
イトウ, ヒデアキ
- 学位授与大学
-
東京工業大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第2229号
- 学位授与年月日
-
1991-06-30
注記・抄録
博士論文
目次
- 論文目録 / (0002.jp2)
- 目次 / (0004.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0008.jp2)
- 1.1 緒言 / p1 (0008.jp2)
- 1.2 水晶摩擦真空計の位置付け / p4 (0011.jp2)
- 1.3 水晶真空計の歴史 / p8 (0015.jp2)
- 1.4 本論文の概要 / p10 (0017.jp2)
- 第2章 音叉型水晶摩擦真空計の圧力･周波数特性の理論 / p15 (0022.jp2)
- 2.1 はじめに / p15 (0022.jp2)
- 2.2 数珠玉モデルによる圧力･周波数特性の理論と問題点 / p16 (0023.jp2)
- 2.3 片持ち梁モデルによる圧力･周波数特性の理論 / p18 (0025.jp2)
- 2.4 表面が粗い振動子に働く質量負荷 / p31 (0038.jp2)
- 2.5 数珠玉モデルで提案された気体分子の抗力による周波数低下の解析 / p45 (0052.jp2)
- 2.6 おわりに / p48 (0055.jp2)
- 第3章 音叉型水晶摩擦真空計の圧力･インピーダンス特性の理論 / p50 (0057.jp2)
- 3.1 はじめに / p50 (0057.jp2)
- 3.2 数珠玉モデルによる圧力･インピーダンス特性の理論と問題点 / p52 (0059.jp2)
- 3.3 片持ち梁モデルによる圧力･インピーダンス特性の理論 / p55 (0062.jp2)
- 3.4 表面が粗い振動子に働く乱流粘性によるエネルギー散逸 / p66 (0073.jp2)
- 3.5 片持ち梁モデルによる圧力感度の理論 / p75 (0082.jp2)
- 3.6 音叉型水晶振動子の固有インピーダンスR₀の植田の式 / p83 (0090.jp2)
- 3.7 おわりに / p86 (0093.jp2)
- 第4章 音叉型水晶摩擦真空計の圧力･周波数特性の実験 / p89 (0096.jp2)
- 4.1 はじめに / p89 (0096.jp2)
- 4.2 実験方法 / p89 (0096.jp2)
- 4.3 分子流領域の気体分子の吸着による周波数低下 / p92 (0099.jp2)
- 4.4 粘性流領域の周波数低下 / p97 (0104.jp2)
- 4.5 数珠玉モデルで提案された気体分子の抗力による周波数低下の検討 / p112 (0119.jp2)
- 4.6 おわりに / p112 (0119.jp2)
- 第5章 音叉型水晶摩擦真空計の圧力･インピーダンス特性の実験 / p115 (0122.jp2)
- 5.1 はじめに / p115 (0122.jp2)
- 5.2 実験方法と実験条件 / p115 (0122.jp2)
- 5.3 気体分子の抗力によるインピーダンス変化 / p116 (0123.jp2)
- 5.4 粘性流領域のインピーダンス変化 / p120 (0127.jp2)
- 5.5 おわりに / p136 (0143.jp2)
- 第6章 音叉型水晶摩擦真空計用振動子の製作条件と圧力感度 / p140 (0147.jp2)
- 6.1 はじめに / p140 (0147.jp2)
- 6.2 エッチング加工振動子の製作法 / p140 (0147.jp2)
- 6.3 真空計用音叉振動子の圧力感度の実験値とその考察 / p142 (0149.jp2)
- 6.4 真空計用音叉振動子の最適切り出し条件 / p149 (0156.jp2)
- 6.5 電総研グループによる実験結果の理論的解釈 / p155 (0162.jp2)
- 6.6 水晶摩擦真空計の圧力測定値と短期安定度 / p155 (0162.jp2)
- 6.7 音叉型水晶摩擦真空計の展望 / p160 (0167.jp2)
- 6.8 おわりに / p161 (0168.jp2)
- 第7章 結言 / p163 (0170.jp2)
- 謝辞 / p166 (0173.jp2)
- 業績 / p168 (0175.jp2)
- 文献 / p175 (0182.jp2)
