クリーンルームの空気清浄度の性能評価と品質管理

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著者

    • 鈴木, 良延 スズキ, ヨシノブ

書誌事項

タイトル

クリーンルームの空気清浄度の性能評価と品質管理

著者名

鈴木, 良延

著者別名

スズキ, ヨシノブ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第2279号

学位授与年月日

1991-11-30

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. 目次 / p1 (0003.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.1 研究の目的 / p1 (0005.jp2)
  5. 1.2 研究の背景 / p8 (0009.jp2)
  6. 1.3 既往の研究と本研究の関係 / p10 (0010.jp2)
  7. 1.4 現状のクリーンルーム評価の規格 / p15 (0012.jp2)
  8. 1.5 本論文の構成 / p17 (0013.jp2)
  9. 第2章 クリーンルームの空気清浄度の評価体系および品質 / p21 (0015.jp2)
  10. 2.1 クリーンルームの品質 / p21 (0015.jp2)
  11. 2.2 クリーンルームの評価体系の考え方 / p25 (0017.jp2)
  12. 2.3 実験・解析手法について / p27 (0018.jp2)
  13. 第3章 クリーンルーム内の発塵源(作業者)からの発塵量および発塵機構 / p28 (0019.jp2)
  14. 3.1 まえがき / p28 (0019.jp2)
  15. 3.2 総発塵量の評価 / p29 (0019.jp2)
  16. 3.3 部位別発塵量の評価 / p39 (0024.jp2)
  17. 3.4 発塵機構および低発塵化の検討 / p40 (0025.jp2)
  18. 3.5 第3章のまとめ / p59 (0034.jp2)
  19. 第4章 乱流型クリーンルームの空気清浄化性能評価方法および換気量の設定方法 / p60 (0035.jp2)
  20. 4.1 まえがき / p60 (0035.jp2)
  21. 4.2 空気清浄度評価方法の考え方 / p62 (0036.jp2)
  22. 4.3 空気清浄化性能の評価方法の検討 / p65 (0037.jp2)
  23. 4.4 換気量の設定方法 / p87 (0048.jp2)
  24. 4.5 第4章のまとめ / p102 (0056.jp2)
  25. 第5章 整流型クリーンルームの超清浄度の評価方法 / p104 (0057.jp2)
  26. 5.1 まえがき / p104 (0057.jp2)
  27. 5.2 リークテストによる粒子のフィルタからの漏出量の評価 / p105 (0057.jp2)
  28. 5.3 ULPAフィルタの品質管理(フィルタ性能の実証試験) / p123 (0066.jp2)
  29. 5.4 超清浄度の評価方法 / p132 (0071.jp2)
  30. 5.5 第5章のまとめ / p140 (0075.jp2)
  31. 第6章 ウェハ粒子沈着率による空気清浄度の評価方法 / p142 (0076.jp2)
  32. 6.1 まえがき / p142 (0076.jp2)
  33. 6.2 粒子沈着率による空気清浄度評価方法の考え方 / p142 (0076.jp2)
  34. 6.3 垂直整流型クリーンルームにおける粒子沈着率の測定方法および評価方法 / p146 (0078.jp2)
  35. 6.4 乱流型クリーンルームにおける粒子沈着率の測定方法および評価例 / p168 (0089.jp2)
  36. 6.5 粒子沈着率による空気清浄度の評価基準 / p181 (0095.jp2)
  37. 6.6 第6章のまとめ / p190 (0100.jp2)
  38. 第7章 結論 / p193 (0101.jp2)
  39. 7.1 本研究のまとめ / p193 (0101.jp2)
  40. 7.2 今後の課題 / p198 (0104.jp2)
  41. 参考文献 / p201 (0105.jp2)
  42. 謝辞 / p209 (0109.jp2)
  43. 本研究に関する筆者の発表論文 / p210 (0110.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000088528
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000088747
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000252842
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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