極高真空計測のためのレーザイオン化を用いた圧力計測法の研究

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著者

    • 国分, 清秀 コクブン, キヨヒデ

書誌事項

タイトル

極高真空計測のためのレーザイオン化を用いた圧力計測法の研究

著者名

国分, 清秀

著者別名

コクブン, キヨヒデ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

理学博士

学位授与番号

乙第2324号

学位授与年月日

1992-03-31

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 目次 / (0006.jp2)
  3. 第1章 はじめに / p1 (0009.jp2)
  4. 第2章 研究の背景 / p3 (0011.jp2)
  5. 2.1 極高真空技術研究の意義 / p3 (0011.jp2)
  6. 2.2 極高真空技術の現状と問題点 / p4 (0012.jp2)
  7. 2.3 レーザイオン化による粒子計測技術の発展 / p6 (0014.jp2)
  8. 第3章 レーザイオン化を用いた極高真空計測 / p8 (0016.jp2)
  9. 3.1 研究の目的と内容 / p8 (0016.jp2)
  10. 3.2 原理 / p8 (0016.jp2)
  11. 3.3 本圧力計測法の特徴 / p9 (0017.jp2)
  12. 4.4 他の分野との関連 / p10 (0018.jp2)
  13. 第4章 気体原子・分子のレーザイオン化特性 / p12 (0020.jp2)
  14. 4.1 共鳴多光子イオン化と非共鳴多光子イオン化 / p12 (0020.jp2)
  15. 4.2 非共鳴多光子イオン化の理論 / p14 (0022.jp2)
  16. 4.3 実験装置及び実験方法 / p17 (0025.jp2)
  17. 4.4 レーザ生成イオン量の圧力依存性 / p21 (0029.jp2)
  18. 4.5 レーザ生成イオン量のレーザ強度依存性 / p33 (0041.jp2)
  19. 4.6 共鳴励起を含む非共鳴多光子イオン化 / p42 (0050.jp2)
  20. 4.7 圧力計測の観点からのレーザイオン化特性の考察 / p45 (0053.jp2)
  21. 第5章 極高真空計測のためのイオン検出システムの試作 / p48 (0056.jp2)
  22. 5.1 極高真空計測における高感度イオン検出装置の必要性 / p48 (0056.jp2)
  23. 5.2 パルスカウンティング方式によるイオン検出装置 / p49 (0057.jp2)
  24. 5.3 画像処理技術を利用したイオン計数システム / p52 (0060.jp2)
  25. 第6章 極高真空装置の試作 / p58 (0066.jp2)
  26. 6.1 極高真空装置作製技術の現状及び問題点 / p58 (0066.jp2)
  27. 6.2 作製方法及び製作工程 / p59 (0067.jp2)
  28. 6.3 容器材料の表面観察及び表面分析 / p64 (0072.jp2)
  29. 6.4 装置構成 / p69 (0077.jp2)
  30. 6.5 ガス放出速度の測定 / p71 (0079.jp2)
  31. 6.6 排気特性 / p74 (0082.jp2)
  32. 6.7 残留ガス分析 / p76 (0084.jp2)
  33. 第7章 今後の展開 / p81 (0089.jp2)
  34. 7.1 今までに得られた成果 / p81 (0089.jp2)
  35. 7.2 今後の問題 / p83 (0091.jp2)
  36. 7.3 レーザイオン化による極高真空計測システムの構築 / p84 (0092.jp2)
  37. 第8章 結び / p86 (0094.jp2)
  38. 謝辞 / p87 (0095.jp2)
  39. 参考文献 / p88 (0096.jp2)
  40. 原著論文リスト及び引用ページ / p90 (0098.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000088573
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000088792
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000252887
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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