両面ラッピングの高精度化に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
-
両面ラッピングの高精度化に関する研究
- Author
-
宮本, 紳司
- Author(Another name)
-
ミヤモト, シンジ
- University
-
金沢大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
甲第1111号
- Degree year
-
1992-03-25
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 序章 / p1 (0007.jp2)
- 1.1 ラッピング加工の現状と問題点 / p1 (0007.jp2)
- 1.2 本研究の目的 / p3 (0008.jp2)
- 1.3 本研究の概要 / p5 (0009.jp2)
- 第2章 定盤形状測定機の開発と評価 / p8 (0011.jp2)
- 2.1 緒言 / p8 (0011.jp2)
- 2.2 定盤断面形状測定機の開発 / p9 (0011.jp2)
- 2.3 定盤3次元形状測定機の開発 / p18 (0016.jp2)
- 2.4 結言 / p33 (0023.jp2)
- 第3章 定盤形状の影響と定盤修正 / p35 (0024.jp2)
- 3.1 緒言 / p35 (0024.jp2)
- 3.2 定盤形状の評価因子の定義 / p36 (0025.jp2)
- 3.3 各評価因子の解析的検討 / p38 (0026.jp2)
- 3.4 各評価因子の実験的検討 / p47 (0030.jp2)
- 3.5 定盤の修正方法 / p58 (0036.jp2)
- 3.6 結言 / p72 (0043.jp2)
- 第4章 工作物と定盤の形状解析とその評価 / p74 (0044.jp2)
- 4.1 緒言 / p74 (0044.jp2)
- 4.2 砥粒軌跡の解析 / p75 (0044.jp2)
- 4.3 圧力分布を考慮しない形状解析 / p82 (0048.jp2)
- 4.4 圧力分布を考慮した形状解析 / p93 (0053.jp2)
- 4.5 各種加工因子の検討 / p101 (0057.jp2)
- 4.6 結言 / p109 (0061.jp2)
- 第5章 定盤の熱変形とその緩和 / p110 (0062.jp2)
- 5.1 緒言 / p110 (0062.jp2)
- 5.2 熱変形の実測例 / p111 (0062.jp2)
- 5.3 定盤の温度特性 / p116 (0065.jp2)
- 5.4 有限要素法による熱変形解析 / p123 (0068.jp2)
- 5.5 定盤の熱変形緩和 / p133 (0073.jp2)
- 5.6 結言 / p138 (0076.jp2)
- 第6章 高精度両面ラッピングシステムの検討 / p140 (0077.jp2)
- 6.1 緒言 / p140 (0077.jp2)
- 6.2 設計方針 / p141 (0077.jp2)
- 6.3 試作結果とその評価 / p146 (0080.jp2)
- 6.4 結言 / p161 (0087.jp2)
- 第7章 結論 / p162 (0088.jp2)
- 参考文献 / p165 (0089.jp2)
- 謝辞 / p173 (0093.jp2)
