Study of Au[-] production in a plasma-sputter type negative ion source プラズマスパッタ型負イオン源におけるAu[-]生成特性の研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
Study of Au[-] production in a plasma-sputter type negative ion source
- タイトル別名
-
プラズマスパッタ型負イオン源におけるAu[-]生成特性の研究
- 著者名
-
岡部, 裕志郎
- 著者別名
-
オカベ, ユウシロウ
- 学位授与大学
-
名古屋大学
- 取得学位
-
理学博士
- 学位授与番号
-
甲第2526号
- 学位授与年月日
-
1991-10-24
注記・抄録
博士論文
目次
- Table of Contents / p5 (0007.jp2)
- Abstract / p2 (0004.jp2)
- Acknowledgement / p4 (0006.jp2)
- §1.Introduction / p7 (0009.jp2)
- §2.Relevant Physics / p12 (0014.jp2)
- 2-1 Sputtering process / p12 (0014.jp2)
- 2-2 Mechanism of negative ion formation / p14 (0016.jp2)
- 2-3 Principle of the work function measurement / p19 (0021.jp2)
- §3.Experimental / p23 (0025.jp2)
- 3-1 Ion source / p23 (0025.jp2)
- 3-2 Work function measurement system / p29 (0031.jp2)
- 3-3 Au⁻detection system / p32 (0034.jp2)
- 3-4 Experimental procedure / p35 (0037.jp2)
- §4.Results and discussion / p39 (0041.jp2)
- 4-1 Two wavelength measurement of Au⁻production / p39 (0041.jp2)
- 4-2 Au⁻measurement under the constant work function / p45 (0047.jp2)
- 4-3 Energy distribution of Au⁻beam / p47 (0049.jp2)
- §5.Summary / p49 (0051.jp2)
- References / p51 (0053.jp2)
- Correlation of surface production of negative ions and the work function measured by laser-induced photoelectron current / p418 (0075.jp2)
- Dependence of Au⁻ Production upon the Target Work Function in a Plasma-Sputter-Type Negative Ion Source / p1307 (0079.jp2)
- Energy Distribution of Au⁻ Ions Produced by Sputtering / L1428 / (0086.jp2)
- Magnetic energy analyzer with a microchannel plate calibrated using cellulose nitrate film / p20 (0092.jp2)