Study of Au[-] production in a plasma-sputter type negative ion source プラズマスパッタ型負イオン源におけるAu[-]生成特性の研究

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著者

    • 岡部, 裕志郎 オカベ, ユウシロウ

書誌事項

タイトル

Study of Au[-] production in a plasma-sputter type negative ion source

タイトル別名

プラズマスパッタ型負イオン源におけるAu[-]生成特性の研究

著者名

岡部, 裕志郎

著者別名

オカベ, ユウシロウ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

理学博士

学位授与番号

甲第2526号

学位授与年月日

1991-10-24

注記・抄録

博士論文

目次

  1. Table of Contents / p5 (0007.jp2)
  2. Abstract / p2 (0004.jp2)
  3. Acknowledgement / p4 (0006.jp2)
  4. §1.Introduction / p7 (0009.jp2)
  5. §2.Relevant Physics / p12 (0014.jp2)
  6. 2-1 Sputtering process / p12 (0014.jp2)
  7. 2-2 Mechanism of negative ion formation / p14 (0016.jp2)
  8. 2-3 Principle of the work function measurement / p19 (0021.jp2)
  9. §3.Experimental / p23 (0025.jp2)
  10. 3-1 Ion source / p23 (0025.jp2)
  11. 3-2 Work function measurement system / p29 (0031.jp2)
  12. 3-3 Au⁻detection system / p32 (0034.jp2)
  13. 3-4 Experimental procedure / p35 (0037.jp2)
  14. §4.Results and discussion / p39 (0041.jp2)
  15. 4-1 Two wavelength measurement of Au⁻production / p39 (0041.jp2)
  16. 4-2 Au⁻measurement under the constant work function / p45 (0047.jp2)
  17. 4-3 Energy distribution of Au⁻beam / p47 (0049.jp2)
  18. §5.Summary / p49 (0051.jp2)
  19. References / p51 (0053.jp2)
  20. Correlation of surface production of negative ions and the work function measured by laser-induced photoelectron current / p418 (0075.jp2)
  21. Dependence of Au⁻ Production upon the Target Work Function in a Plasma-Sputter-Type Negative Ion Source / p1307 (0079.jp2)
  22. Energy Distribution of Au⁻ Ions Produced by Sputtering / L1428 / (0086.jp2)
  23. Magnetic energy analyzer with a microchannel plate calibrated using cellulose nitrate film / p20 (0092.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000090273
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000090494
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000254587
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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