Al[x]Ga[1-x]NのMOVPE成長と結晶学的、光学的特性に関する研究

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著者

    • 伊藤, 健治 イトウ, ケンジ

書誌事項

タイトル

Al[x]Ga[1-x]NのMOVPE成長と結晶学的、光学的特性に関する研究

著者名

伊藤, 健治

著者別名

イトウ, ケンジ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2551号

学位授与年月日

1992-03-04

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0004.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. §1.1 III-V族化合物半導体とその混晶 / p1 (0006.jp2)
  4. §1.2 本研究の目的と構成 / p4 (0008.jp2)
  5. 参考文献-1 / p6 (0009.jp2)
  6. 第2章 AℓNバッファ層を用いた高品質GaN膜の結晶成長と結晶学的および光学的、電気的特性 / p7 (0009.jp2)
  7. §2.1 緒言 / p7 (0009.jp2)
  8. §2.2 実験方法 / p8 (0010.jp2)
  9. §2.3 GaN膜の表面形態 / p11 (0011.jp2)
  10. §2.4 GaN膜中の残留応力 / p13 (0012.jp2)
  11. §2.5 GaN-サファイア界面の電気的特性に及ぼす影響 / p18 (0015.jp2)
  12. §2.6 結言 / p20 (0016.jp2)
  13. 参考文献-2 / p21 (0016.jp2)
  14. 第3章 GaN膜上への[化学式]膜([化学式])の結晶成長 / p23 (0017.jp2)
  15. §3.1 緒言 / p23 (0017.jp2)
  16. §3.2 結晶成長方法および条件 / p24 (0018.jp2)
  17. §3.3 [化学式]膜の表面形態 / p24 (0018.jp2)
  18. §3.4 クラックの発生機構 / p29 (0020.jp2)
  19. §3.5 結言 / p37 (0024.jp2)
  20. 参考文献-3 / p38 (0025.jp2)
  21. 第4章 無添加[化学式]膜の結晶学的、光学的特性 / p39 (0025.jp2)
  22. §4.1 緒言 / p39 (0025.jp2)
  23. §4.2 実験方法 / p40 (0026.jp2)
  24. §4.3 結晶学的特性および光学的特性 / p41 (0026.jp2)
  25. §4.4 結言 / p48 (0030.jp2)
  26. 参考文献-4 / p49 (0030.jp2)
  27. 第5章 Zn添加[化学式]膜の結晶成長と結晶学的特性および発光特性 / p50 (0031.jp2)
  28. §5.1 緒言 / p50 (0031.jp2)
  29. §5.2 Zn添加[化学式]膜の結晶成長 / p50 (0031.jp2)
  30. §5.3 Zn添加[化学式]膜の結晶学的特性 / p51 (0031.jp2)
  31. §5.4 Zn添加[化学式]膜の発光特性 / p55 (0033.jp2)
  32. §5.4.1 Zn添加[化学式]膜の発光スペクトル / p55 (0033.jp2)
  33. §5.4.2 発光スペクトルの組成依存性 / p57 (0034.jp2)
  34. §5.5 不純物によって形成される深い準位 / p62 (0037.jp2)
  35. §5.6 結言 / p64 (0038.jp2)
  36. 参考文献-5 / p68 (0040.jp2)
  37. 付録 / p69 (0040.jp2)
  38. §A.1 強結合法を用いたバンド構造の計算方法 / p69 (0040.jp2)
  39. §A.2 グリーン関数を用いた深い準位の計算方法 / p75 (0043.jp2)
  40. 参考文献-A / p78 (0045.jp2)
  41. 第6章 GaN/Aℓ₀.₁Ga₀.₉N多層膜の作製と結晶学的特性および発光特性 / p79 (0045.jp2)
  42. §6.1 緒言 / p79 (0045.jp2)
  43. §6.2 実験方法 / p80 (0046.jp2)
  44. §6.3 多層膜の結晶学的特性 / p83 (0047.jp2)
  45. §6.4 多層膜の構造の制御性 / p86 (0049.jp2)
  46. §6.5 多層膜の発光特性と量子サイズ効果 / p88 (0050.jp2)
  47. §6.6 結言 / p91 (0051.jp2)
  48. 参考文献-6 / p93 (0052.jp2)
  49. 第7章 総括 / p95 (0053.jp2)
  50. 謝辞 / p100 (0056.jp2)
  51. 本研究に関する発表 / p101 (0056.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000090298
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000090519
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000254612
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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