金属-半導体界面の結晶学的・電子的構造に関する研究

この論文をさがす

著者

    • 山内, 毅 ヤマウチ, タケシ

書誌事項

タイトル

金属-半導体界面の結晶学的・電子的構造に関する研究

著者名

山内, 毅

著者別名

ヤマウチ, タケシ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2634号

学位授与年月日

1992-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0004.jp2)
  2. 第1章 序章 / (0006.jp2)
  3. 1.1 はじめに / p1 (0007.jp2)
  4. 1.2 本研究の意義と概要 / p4 (0009.jp2)
  5. 1.3 第1章の参考文献 / p6 (0010.jp2)
  6. 第2章 コンタクト抵抗率を支配する物理量 / p7 (0010.jp2)
  7. 2.1 はじめに / p8 (0011.jp2)
  8. 2.2 コンタクト抵抗率に関する基礎理論 / p13 (0013.jp2)
  9. 2.3 ショットキー障壁高さと界面電子状態 / p23 (0018.jp2)
  10. 2.4 ショットキー障壁高さと界面結晶構造 / p31 (0022.jp2)
  11. 2.5 コンタクト材料の選定 / p37 (0025.jp2)
  12. 2.6 まとめ / p40 (0027.jp2)
  13. 2.7 第2章の参考文献 / p42 (0028.jp2)
  14. 第3章 高融点金属のSiに対するコンタクト抵抗率 / p45 (0029.jp2)
  15. 3.1 はじめに / p46 (0030.jp2)
  16. 3.2 実験 / p46 (0030.jp2)
  17. 3.3 高融点金属のSiに対するコンタクト抵抗率 / p51 (0032.jp2)
  18. 3.4 膜の比抵抗 / p57 (0035.jp2)
  19. 3.5 まとめ / p57 (0035.jp2)
  20. 3.6 第3章の参考文献 / p62 (0038.jp2)
  21. 第4章 金属/Si界面固相反応とその結晶学的構造 / p63 (0038.jp2)
  22. 4.1 はじめに / p64 (0039.jp2)
  23. 4.2 実験 / p65 (0039.jp2)
  24. 4.3 高融点金属/Si界面固相反応とその結晶学的構造 / p66 (0040.jp2)
  25. 4.4 界面中間層とコンタクト抵抗率の関係 / p96 (0055.jp2)
  26. 4.5 まとめ / p103 (0058.jp2)
  27. 4.6 第4章の参考文献 / p104 (0059.jp2)
  28. 第5章 金属/Si界面電子状態 / p107 (0060.jp2)
  29. 5.1 はじめに / p108 (0061.jp2)
  30. 5.2 第1原理計算によるシリサイドの電子状態 / p109 (0061.jp2)
  31. 5.3 光電子分光法による高融点金属/Si界面の電子状態 / p129 (0071.jp2)
  32. 5.4 まとめ-コンタクト抵抗率と界面電子状態の関係 / p157 (0085.jp2)
  33. 5.5 第5章の参考文献 / p160 (0087.jp2)
  34. 第6章 金属/Si界面電気伝導機構 / p162 (0088.jp2)
  35. 6.1 はじめに / p163 (0089.jp2)
  36. 6.2 高融点金属/Si界面電気伝導機構 / p164 (0090.jp2)
  37. 6.3 p-Siに対して現われる電流抑制機構 / p182 (0099.jp2)
  38. 6.4 不純物の再分布 / p188 (0102.jp2)
  39. 6.5 まとめ / p190 (0103.jp2)
  40. 6.6 第6章の参考文献 / p191 (0103.jp2)
  41. 第7章 界面設計による低コンタクト抵抗率の実現 / p192 (0104.jp2)
  42. 7.1 はじめに / p193 (0105.jp2)
  43. 7.2 界面制御 / p194 (0106.jp2)
  44. 7.3 まとめ / p199 (0108.jp2)
  45. 第8章 結論 / p201 (0109.jp2)
  46. 謝辞 / p205 (0111.jp2)
  47. 研究業績 / p206 (0112.jp2)
0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000090381
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000090602
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000254695
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ