SEMを用いた圧電アクチュエータの動的微小変位測定法に関する研究

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著者

    • 石川, 博幸, 1964- イシカワ, ヒロユキ

書誌事項

タイトル

SEMを用いた圧電アクチュエータの動的微小変位測定法に関する研究

著者名

石川, 博幸, 1964-

著者別名

イシカワ, ヒロユキ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2635号

学位授与年月日

1992-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0004.jp2)
  2. 1 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 緒言 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 本研究の目的 / p8 (0009.jp2)
  5. 1.3 本論文の構成 / p9 (0009.jp2)
  6. 2 SEMを用いた超音波モータの観察 / p11 (0010.jp2)
  7. 2.1 緒言 / p11 (0010.jp2)
  8. 2.2 振幅分布の測定 / p12 (0011.jp2)
  9. 2.3 振動周波数の測定 / p16 (0013.jp2)
  10. 2.4 結言 / p18 (0014.jp2)
  11. 3 電圧が印加された試料の微小変位測定 / p23 (0016.jp2)
  12. 3.1 緒言 / p23 (0016.jp2)
  13. 3.2 電界による電子ビームの偏向 / p25 (0017.jp2)
  14. 3.3 横変位の測定 / p27 (0018.jp2)
  15. 3.4 縦変位の測定 / p38 (0024.jp2)
  16. 3.5 横変位の誤差の検討 / p48 (0029.jp2)
  17. 3.6 結言 / p49 (0029.jp2)
  18. 4 動的微小変位の測定 / p51 (0030.jp2)
  19. 4.1 緒言 / p51 (0030.jp2)
  20. 4.2 SEMによる周期的現象の観察法 / p52 (0031.jp2)
  21. 4.3 積層型圧電アクチュエータの動的横変位の測定 / p66 (0038.jp2)
  22. 4.4 積層型圧電アクチュエータの動的縦変位の測定 / p72 (0041.jp2)
  23. 4.5 測定誤差の要因 / p77 (0043.jp2)
  24. 4.6 試料の固定法の改良 / p86 (0048.jp2)
  25. 4.7 結言 / p93 (0051.jp2)
  26. 5 結論 / p95 (0052.jp2)
  27. 5.1 本研究の成果 / p95 (0052.jp2)
  28. 5.2 今後の課題 / p97 (0053.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000090382
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000986118
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000254696
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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