水素化アモルファス炭化シリコン膜の構造と電気的特性

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著者

    • 田畑, 彰守 タバタ, アキモリ

書誌事項

タイトル

水素化アモルファス炭化シリコン膜の構造と電気的特性

著者名

田畑, 彰守

著者別名

タバタ, アキモリ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2640号

学位授与年月日

1992-03-25

注記・抄録

博士論文

名古屋大学博士学位論文 学位の種類:工学博士 (課程) 学位授与年月日:平成4年3月25日

目次

  1. 第一章 序論 / p1 (0006.jp2)
  2. §1.1 本研究の背景 / p1 (0006.jp2)
  3. §1.2 アモルファスシリコンおよびその合金系の物性 / p3 (0008.jp2)
  4. §1.3 水素化アモルファス炭化シリコンの応用 / p5 (0010.jp2)
  5. §1.4 本研究の目的と構成 / p7 (0012.jp2)
  6. 参考文献 / p10 (0015.jp2)
  7. 第二章 試料作製 / p12 (0017.jp2)
  8. §2.1 プラズマCVD法 / p12 (0017.jp2)
  9. §2.2 膜堆積率、膜組成および光学ギャップ / p12 (0017.jp2)
  10. §2.3 まとめ / p17 (0022.jp2)
  11. 参考文献 / p18 (0023.jp2)
  12. 第三章 水素化アモルファス炭化シリコン膜のX線光電子分光(XPS) / p19 (0024.jp2)
  13. §3.1 はじめに / p19 (0024.jp2)
  14. §3.2 X線光電子分光(XPS)法 / p20 (0025.jp2)
  15. §3.3 実験方法 / p21 (0026.jp2)
  16. §3.4 炭素原子およびシリコン原子の結合状態 / p22 (0027.jp2)
  17. 3.4.1 a-Si:HのXPS / p23 (0028.jp2)
  18. 3.4.2 シリコン組成が大きい[化学式]のXPS / p23 (0028.jp2)
  19. 3.4.3 炭素組成が大きい[化学式]のXPS / p25 (0030.jp2)
  20. §3.5 希釈ガスの効果 / p28 (0033.jp2)
  21. §3.6 まとめ / p30 (0035.jp2)
  22. 参考文献 / p31 (0036.jp2)
  23. 第四章 水素化アモルファス炭化シリコン膜の交流電気伝導 / p32 (0037.jp2)
  24. §4.1 はじめに / p32 (0037.jp2)
  25. §4.2 交流電気伝導モデル / p32 (0037.jp2)
  26. 4.2.1 ベア近似 / p32 (0037.jp2)
  27. 4.2.2 Correlated Barrier Hoppingモデル / p34 (0039.jp2)
  28. 4.2.3 拡張ペア近似 / p37 (0042.jp2)
  29. 4.2.4 Trap-releaseモデル / p40 (0045.jp2)
  30. §4.3 実験方法 / p42 (0047.jp2)
  31. §4.4 実験結果および検討 / p43 (0048.jp2)
  32. 4.4.1 欠陥間のホッピング / p43 (0048.jp2)
  33. 4.4.2 界面緩和 / p51 (0056.jp2)
  34. §4.5 まとめ / p58 (0063.jp2)
  35. 参考文献 / p60 (0065.jp2)
  36. 第五章 水素化アモルファス炭化シリコン膜の熱刺激電流(TSC) / p63 (0068.jp2)
  37. §5.1 はじめに / p63 (0068.jp2)
  38. §5.2熱刺激電流法(TSC) / p63 (0068.jp2)
  39. §5.3 two-site hoppingモデル / p65 (0070.jp2)
  40. §5.4 実験方法 / p68 (0073.jp2)
  41. §5.5 実験結果および検討 / p68 (0073.jp2)
  42. §5.6 まとめ / p73 (0078.jp2)
  43. 参考文献 / p73 (0078.jp2)
  44. 第六章 総括 / p74 (0079.jp2)
  45. 謝辞 / (0084.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000090387
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000090608
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000254701
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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