レーザー近接距離センサを用いた基準位置計測法に関する研究

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著者

    • 伊藤, 昌文 イトウ, マサフミ

書誌事項

タイトル

レーザー近接距離センサを用いた基準位置計測法に関する研究

著者名

伊藤, 昌文

著者別名

イトウ, マサフミ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2641号

学位授与年月日

1992-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0004.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 ロボット,工作機械の発展と位置計測 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 光学的位置計測法の発展と分類 / p2 (0007.jp2)
  5. 1.3 レーザーを用いた位置計測法における問題点 / p5 (0010.jp2)
  6. 1.4 本論文の目的と構成 / p6 (0011.jp2)
  7. 参考文献 / p8 (0013.jp2)
  8. 第2章 フォトサーマル効果を用いた近接距離検出法 / p11 (0016.jp2)
  9. 2.1 はじめに / p11 (0016.jp2)
  10. 2.2 フォトサーマル効果 / p11 (0016.jp2)
  11. 2.3 近接距離測定原理 / p12 (0017.jp2)
  12. 2.4 二光束ミラージュ法による変位および距離検出方法 / p15 (0020.jp2)
  13. 2.5 実験装置 / p19 (0024.jp2)
  14. 2.6 実験結果および考察 / p21 (0026.jp2)
  15. 2.7 まとめ / p25 (0030.jp2)
  16. 参考文献 / p28 (0033.jp2)
  17. 第3章 FMヘテロダイン干渉法を用いた基準位置検出法 / p30 (0035.jp2)
  18. 3.1 はじめに / p30 (0035.jp2)
  19. 3.2 FMヘテロダイン干渉法の原理 / p31 (0036.jp2)
  20. 3.3 ディジタル信号処理FMヘテロダイン干渉法 / p31 (0036.jp2)
  21. 3.4 十字回折ビームを用いた基準点の方向検出法 / p43 (0048.jp2)
  22. 3.5 3次元センサへの拡張 / p48 (0053.jp2)
  23. 3.6 まとめ / p52 (0057.jp2)
  24. 参考文献 / p54 (0059.jp2)
  25. 第4章 リソグラフィ・マークを用いた基準位置・姿勢検出法 / p55 (0060.jp2)
  26. 4.1 はじめに / p55 (0060.jp2)
  27. 4.2 基準点用回折格子マークの作成 / p55 (0060.jp2)
  28. 4.3 円形回折格子を用いた基準位置検出法 / p57 (0062.jp2)
  29. 4.4 円形回折格子を改良したリソグラフィ・マークによる姿勢検出法 / p70 (0075.jp2)
  30. 4.5 まとめ / p78 (0083.jp2)
  31. 参考文献 / p80 (0085.jp2)
  32. 第5章 総括 / p81 (0086.jp2)
  33. 5.1 本論文の結果の要約 / p82 (0087.jp2)
  34. 5.2 今後の課題と展望 / p83 (0088.jp2)
  35. 謝辞 / p85 (0090.jp2)
  36. 研究業績一覧 / p86 (0091.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000090388
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000090609
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000254702
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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