酸化すず薄膜のガス検知特性に関する研究

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著者

    • 柳, 在相 ユウ, ジェサン

書誌事項

タイトル

酸化すず薄膜のガス検知特性に関する研究

著者名

柳, 在相

著者別名

ユウ, ジェサン

学位授与大学

長岡技術科学大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第67号

学位授与年月日

1992-09-30

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 本研究の背景 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 本研究の目的と論文の構成 / p8 (0013.jp2)
  5. 参考文献 / p10 (0015.jp2)
  6. 第2章 酸化すず薄膜の作成条件とガス感度特性 / p13 (0018.jp2)
  7. 2.1 はじめに / p13 (0018.jp2)
  8. 2.2 実験 / p14 (0019.jp2)
  9. 2.3 結果 / p18 (0023.jp2)
  10. 2.4 まとめ / p28 (0033.jp2)
  11. 参考文献 / p28 (0033.jp2)
  12. 第3章 酸化すず薄膜の結晶配向とガス感度特性 / p29 (0034.jp2)
  13. 3.1 はじめに / p29 (0034.jp2)
  14. 3.2 実験 / p30 (0035.jp2)
  15. 3.3 結果 / p33 (0038.jp2)
  16. 3.4 考察 / p37 (0042.jp2)
  17. 3.5 まとめ / p44 (0049.jp2)
  18. 参考文献 / p44 (0049.jp2)
  19. 第4章 配向性に及ぼすスパッタガス組成の影響 / p45 (0050.jp2)
  20. 4.1 はじめに / p45 (0050.jp2)
  21. 4.2 実験 / p46 (0051.jp2)
  22. 4.3 結果と考察 / p49 (0054.jp2)
  23. 4.4 まとめ / p59 (0064.jp2)
  24. 参考文献 / p59 (0064.jp2)
  25. 第5章 酸素欠損とガス感度特性の温度依存性 / p61 (0066.jp2)
  26. 5.1 はじめに / p61 (0066.jp2)
  27. 5.2 実験 / p62 (0067.jp2)
  28. 5.3 結果と考察 / p64 (0069.jp2)
  29. 5.4 まとめ / p73 (0078.jp2)
  30. 参考文献 / p73 (0078.jp2)
  31. 第6章 結論 / p75 (0080.jp2)
  32. 後記 / p76 (0081.jp2)
  33. 謝辞 / p78 (0083.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000090546
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000090767
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000254860
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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