軟X線露光技術の超精密化に関する研究

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著者

    • 木下, 博雄 キノシタ, ヒロオ

書誌事項

タイトル

軟X線露光技術の超精密化に関する研究

著者名

木下, 博雄

著者別名

キノシタ, ヒロオ

学位授与大学

慶應義塾大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第2488号

学位授与年月日

1992-04-08

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. 目次 / (0004.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.1 本研究の必要性と目的 / p1 (0005.jp2)
  5. 1.2 本研究の概要 / p3 (0006.jp2)
  6. 第2章 軟X線露光用超精密XYステージの開発 / p7 (0008.jp2)
  7. 2.1 緒言 / p7 (0008.jp2)
  8. 2.2 超精密XYステージの機構設計 / p8 (0009.jp2)
  9. 2.3 機構特性 / p15 (0012.jp2)
  10. 2.4 位置決め制御系 / p18 (0014.jp2)
  11. 2.5 結言 / p22 (0016.jp2)
  12. 第3章 2重焦点顕微鏡を用いた3次元位置合わせ装置の試作と評価 / p50 (0030.jp2)
  13. 3.1 緒言 / p50 (0030.jp2)
  14. 3.2 従来方式と位置合わせ検出方式への要求条件 / p51 (0030.jp2)
  15. 3.3 2重焦点レンズを用いた位置ずれ検出・制御法 / p52 (0031.jp2)
  16. 3.4 マーク検出特性の考察 / p55 (0032.jp2)
  17. 3.5 マスク、ウェハギャップ確保の検討 / p58 (0034.jp2)
  18. 3.6 重ね合わせ精度評価 / p60 (0035.jp2)
  19. 3.7 結言 / p62 (0036.jp2)
  20. 第4章 2重回折格子を用いた位置合わせ法の開発 / p86 (0048.jp2)
  21. 4.1 緒言 / p86 (0048.jp2)
  22. 4.2 2重回折格子法による位置合わせ原理 / p86 (0048.jp2)
  23. 4.3 実験装置と結果 / p87 (0048.jp2)
  24. 4.4 結言 / p89 (0049.jp2)
  25. 第5章 電子ビームプローブを用いたX線マスク検査装置の開発 / p94 (0052.jp2)
  26. 5.1 緒言 / p94 (0052.jp2)
  27. 5.2 検査方法 / p94 (0052.jp2)
  28. 5.3 装置特性 / p96 (0053.jp2)
  29. 5.4 検査特性 / p99 (0054.jp2)
  30. 5.5 結言 / p100 (0055.jp2)
  31. 第6章 X線縮小投影露光法の開発 / p115 (0062.jp2)
  32. 6.1 緒言 / p115 (0062.jp2)
  33. 6.2 露光波長の支配要因とその選択 / p115 (0062.jp2)
  34. 6.3 多層膜ミラーの製作 / p117 (0063.jp2)
  35. 6.4 反射型マスクの製作 / p122 (0066.jp2)
  36. 6.5 縮小露光実験 / p123 (0066.jp2)
  37. 6.6 結言 / p124 (0067.jp2)
  38. 第7章 結論 / p138 (0074.jp2)
  39. 本研究に関する公刊論文 / p141 (0075.jp2)
  40. 本研究に関する講演論文 / p143 (0076.jp2)
  41. 謝辞 / p145 (0077.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000091272
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000091496
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000255586
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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