信号処理による高精度形状測定法

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著者

    • 伊藤, 俊治 イトウ, シュンジ

書誌事項

タイトル

信号処理による高精度形状測定法

著者名

伊藤, 俊治

著者別名

イトウ, シュンジ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4252号

学位授与年月日

1992-09-28

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 1.1 本研究の背景 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.2 本研究の目的 / p5 (0010.jp2)
  4. 1.3 本論文の概要 / p8 (0013.jp2)
  5. 第2章 カルマンフィルタによる真直形状偏差測定の高精度化 / p12 (0017.jp2)
  6. 2.1 緒言 / p12 (0017.jp2)
  7. 2.2 逐次3点法の別表現 / p13 (0018.jp2)
  8. 2.3 モデル化とシステム同定 / p16 (0021.jp2)
  9. 2.4 カルマンフィルタの適用 / p17 (0022.jp2)
  10. 2.5 シミュレーション / p19 (0024.jp2)
  11. 2.6 実験 / p24 (0029.jp2)
  12. 2.7 結言 / p31 (0036.jp2)
  13. 第3章 参照面形状偏差の分離による位相測定干渉計の高精度化 / p35 (0040.jp2)
  14. 3.1 緒言 / p35 (0040.jp2)
  15. 3.2 原理 / p36 (0041.jp2)
  16. 3.3 実験 / p42 (0047.jp2)
  17. 3.4 結言 / p52 (0057.jp2)
  18. 第4章 測定ヘッドの並進ガタの分離による大面積の平面形状偏差の測定 / p53 (0058.jp2)
  19. 4.1 緒言 / p53 (0058.jp2)
  20. 4.2 原理 / p54 (0059.jp2)
  21. 4.3 周波数特性 / p64 (0069.jp2)
  22. 4.4 シミュレーションによる精度比較 / p66 (0071.jp2)
  23. 4.5 実験 / p68 (0073.jp2)
  24. 4.6 結言 / p78 (0083.jp2)
  25. 第5章 逐次3点法の2次元への拡張による大面積の平面形状偏差の高精度測定 / p80 (0085.jp2)
  26. 5.1 緒言 / p80 (0085.jp2)
  27. 5.2 原理 / p81 (0086.jp2)
  28. 5.3 シミュレーションによる誤差の考察 / p90 (0095.jp2)
  29. 5.4 実験 / p93 (0098.jp2)
  30. 5.5 結言 / p98 (0103.jp2)
  31. 第6章 結論 / p99 (0104.jp2)
  32. 謝辞 / p103 (0108.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000091579
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000091804
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000255893
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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