信号処理による高精度形状測定法
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Author
Bibliographic Information
- Title
-
信号処理による高精度形状測定法
- Author
-
伊藤, 俊治
- Author(Another name)
-
イトウ, シュンジ
- University
-
名古屋大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
乙第4252号
- Degree year
-
1992-09-28
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (3コマ目)
- 1.1 本研究の背景/p1 (6コマ目)
- 1.2 本研究の目的/p5 (10コマ目)
- 1.3 本論文の概要/p8 (13コマ目)
- 第2章 カルマンフィルタによる真直形状偏差測定の高精度化/p12 (17コマ目)
- 2.1 緒言/p12 (17コマ目)
- 2.2 逐次3点法の別表現/p13 (18コマ目)
- 2.3 モデル化とシステム同定/p16 (21コマ目)
- 2.4 カルマンフィルタの適用/p17 (22コマ目)
- 2.5 シミュレーション/p19 (24コマ目)
- 2.6 実験/p24 (29コマ目)
- 2.7 結言/p31 (36コマ目)
- 第3章 参照面形状偏差の分離による位相測定干渉計の高精度化/p35 (40コマ目)
- 3.1 緒言/p35 (40コマ目)
- 3.2 原理/p36 (41コマ目)
- 3.3 実験/p42 (47コマ目)
- 3.4 結言/p52 (57コマ目)
- 第4章 測定ヘッドの並進ガタの分離による大面積の平面形状偏差の測定/p53 (58コマ目)
- 4.1 緒言/p53 (58コマ目)
- 4.2 原理/p54 (59コマ目)
- 4.3 周波数特性/p64 (69コマ目)
- 4.4 シミュレーションによる精度比較/p66 (71コマ目)
- 4.5 実験/p68 (73コマ目)
- 4.6 結言/p78 (83コマ目)
- 第5章 逐次3点法の2次元への拡張による大面積の平面形状偏差の高精度測定/p80 (85コマ目)
- 5.1 緒言/p80 (85コマ目)
- 5.2 原理/p81 (86コマ目)
- 5.3 シミュレーションによる誤差の考察/p90 (95コマ目)
- 5.4 実験/p93 (98コマ目)
- 5.5 結言/p98 (103コマ目)
- 第6章 結論/p99 (104コマ目)
- 謝辞/p103 (108コマ目)