シリコン太陽電池の反射防止膜に関する研究

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著者

    • 柴田, 登 シバタ, ノボル

書誌事項

タイトル

シリコン太陽電池の反射防止膜に関する研究

著者名

柴田, 登

著者別名

シバタ, ノボル

学位授与大学

京都工芸繊維大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第5号

学位授与年月日

1992-11-19

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 文献 / p4 (0007.jp2)
  4. 第2章 ウェット法による反射防止膜の形成 / p5 (0007.jp2)
  5. 第1節 序言 / p5 (0007.jp2)
  6. 第2節 実験方法および結果 / p5 (0007.jp2)
  7. 第3節 反射防止膜の屈折率と膜厚の測定 / p9 (0009.jp2)
  8. 第4節 反射防止膜の形成過程および組成 / p11 (0010.jp2)
  9. 第5節 反射防止膜の電気特性 / p23 (0017.jp2)
  10. 第6節 結言 / p25 (0018.jp2)
  11. 文献 / p27 (0019.jp2)
  12. 第3章 プラズマCVD法によるSiN膜の生成 / p28 (0019.jp2)
  13. 第1節 序言 / p28 (0019.jp2)
  14. 第2節 実験方法および結果 / p29 (0020.jp2)
  15. 第3節 SiN膜の組成分析と屈折率の関係 / p33 (0022.jp2)
  16. 3-1 シリコンリッチ膜 / p33 (0022.jp2)
  17. 3-2 酸素リッチ膜 / p38 (0024.jp2)
  18. 3-3 SiN膜の屈折率と原子比O/NおよびSi/Oとの関係 / p42 (0026.jp2)
  19. 3-4 SiN膜の屈折率の波長依存性と安定性について / p44 (0027.jp2)
  20. 第4節 SiN膜の太陽電池への応用 / p46 (0028.jp2)
  21. 第5節 結言 / p49 (0030.jp2)
  22. 文献 / p51 (0031.jp2)
  23. 第4章 プラズマCVD法による[化学式]/[化学式]二層膜の生成 / p52 (0031.jp2)
  24. 第1節 序言 / p52 (0031.jp2)
  25. 第2節 実験方法および結果 / p53 (0032.jp2)
  26. 第3節 遷移領域の形成 / p55 (0033.jp2)
  27. 第4節 [化学式]膜と[化学式]膜に対する原子比O/Nの関係 / p62 (0036.jp2)
  28. 第5節 [化学式]/[化学式]二層膜の太陽電池への応用 / p63 (0037.jp2)
  29. 第6節 結言 / p72 (0041.jp2)
  30. 文献 / p74 (0042.jp2)
  31. 第5章 光CVD法による[化学式]膜の生成 / p75 (0043.jp2)
  32. 第1節 序言 / p75 (0043.jp2)
  33. 第2節 [化学式]膜の生成 / p75 (0043.jp2)
  34. 第3節 [化学式]膜の経時変化 / p77 (0044.jp2)
  35. 第4節 経時変化の機構 / p83 (0047.jp2)
  36. 第5節 [化学式]膜の生成機構 / p86 (0048.jp2)
  37. 第6節 低温生成した[化学式]膜の反射防止膜への応用 / p90 (0050.jp2)
  38. 第7節 結言 / p91 (0051.jp2)
  39. 文献 / p93 (0052.jp2)
  40. 第6章 プラズマCVD法と光CVD法による[化学式]膜の生成 / p94 (0052.jp2)
  41. 第1節 序言 / p94 (0052.jp2)
  42. 第2節 [化学式]膜の反射防止膜への応用 / p94 (0052.jp2)
  43. 第3節 プラズマCVD法による損傷問題 / p97 (0054.jp2)
  44. 第4節 光・プラズマCVD法による「化学式]/[化学式]二層膜 / p105 (0058.jp2)
  45. 第5節 結言 / p109 (0060.jp2)
  46. 文献 / p111 (0061.jp2)
  47. 第7章 結論 / p112 (0061.jp2)
  48. 謝辞 / p115 (0063.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000092196
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000092421
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000256510
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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