Fe系磁性多層膜の軟磁気特性に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
Fe系磁性多層膜の軟磁気特性に関する研究
- Author
-
千田, 正勝
- Author(Another name)
-
センダ, マサカツ
- University
-
名古屋大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
乙第4292号
- Degree year
-
1992-11-30
Note and Description
博士論文
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (論文) 学位授与年月日:平成4年11月30日
Table of Contents
- 主論文の要旨 / (0001.jp2)
- 目次 / (0008.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0009.jp2)
- 1-1 研究の背景と目的 / p1 (0009.jp2)
- 1-2 本論文の構成 / p9 (0013.jp2)
- 第2章 NiFe/SiO₂多層膜の磁気特性 / p15 (0016.jp2)
- 2-1 はじめに / p15 (0016.jp2)
- 2-2 実験方法 / p15 (0016.jp2)
- 2-3 NiFe膜の磁歪定数と磁気異方性 / p21 (0019.jp2)
- 2-4 NiFe/SiO₂多層膜の磁気特性 / p23 (0020.jp2)
- 2-5 まとめ / p34 (0026.jp2)
- 第3章 Fe/Co,Fe/CoFe,(Fe/Co)/Si0₂多層膜の磁気特性 / p36 (0027.jp2)
- 3-1 はじめに / p36 (0027.jp2)
- 3-2 実験方法 / p36 (0027.jp2)
- 3-3 Fe/Co,Fe/CoFe多層膜の磁気特性 / p38 (0028.jp2)
- 3-4(Fe/Co)/Si0₂多層膜の磁気特性 / p62 (0040.jp2)
- 3-5 まとめ / p66 (0042.jp2)
- 第4章 Fe/SiO₂多層膜の磁気特性 / p69 (0043.jp2)
- 4-1 はじめに / p69 (0043.jp2)
- 4-2 実験方法 / p69 (0043.jp2)
- 4-3 Fe/(非磁性体)多層膜の磁気特性 / p72 (0045.jp2)
- 4-4 Fe/SiO₂多層膜の磁気特性 / p82 (0050.jp2)
- 4-5 まとめ / p110 (0064.jp2)
- 第5章 NeスパッタFe/SiO₂多層膜の磁気特性 / p114 (0066.jp2)
- 5-1 はじめに / p114 (0066.jp2)
- 5-2 実験方法 / p114 (0066.jp2)
- 5-3 Ne,Ar,KrスパッタFe/SiO₂多層膜の磁気特性 / p115 (0066.jp2)
- 5-4 まとめ / p126 (0072.jp2)
- 第6章 多層化による高性能軟磁性膜実現のための設計指針 / p132 (0075.jp2)
- 6-1 はじめに / p132 (0075.jp2)
- 6-2 高性能軟磁性膜実現の設計指針 / p132 (0075.jp2)
- 6-3 まとめ / p139 (0078.jp2)
- 第7章 結論 / p143 (0080.jp2)
- 7-1 各章のまとめ / p143 (0080.jp2)
- 7-2 本研究の成果と今後の課題 / p146 (0082.jp2)
- 本研究に関する研究発表 / p150 (0084.jp2)
- 謝辞 / p155 (0086.jp2)