シリコン微細加工技術を応用した圧力の流れの計測手法に関する研究

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著者

    • 田畑, 修, 1956- タバタ, オサム

書誌事項

タイトル

シリコン微細加工技術を応用した圧力の流れの計測手法に関する研究

著者名

田畑, 修, 1956-

著者別名

タバタ, オサム

学位授与大学

名古屋工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第106号

学位授与年月日

1993-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0004.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 緒言 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 シリコンマイクロマシーニング技術の概要 / p1 (0006.jp2)
  5. 1.3 従来の研究 / p2 (0007.jp2)
  6. 1.4 本論文の目的と構成 / p4 (0008.jp2)
  7. 参考文献 / p7 (0009.jp2)
  8. 第2章 メンブレン構造の作製と機械的物性評価手法 / p9 (0010.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p9 (0010.jp2)
  10. 2.2 シリコン異方性エッチングによるメンブレンの作製 / p11 (0011.jp2)
  11. 2.3 窒化シリコンメンブレンと機械的物性 / p15 (0013.jp2)
  12. 2.4 酸化多孔質シリコンメンブレンの作製 / p22 (0017.jp2)
  13. 2.5 考察 / p25 (0018.jp2)
  14. 2.6 結言 / p27 (0019.jp2)
  15. 参考文献 / p29 (0020.jp2)
  16. 第3章 窒化シリコンメンブレンを用いた微圧計測 / p31 (0021.jp2)
  17. 3.1 緒言 / p31 (0021.jp2)
  18. 3.2 窒化シリコンダイヤフラムの圧力-たわみ解析 / p32 (0022.jp2)
  19. 3.3 光干渉を用いた微圧計測 / p36 (0024.jp2)
  20. 3.4 測定結果 / p41 (0026.jp2)
  21. 3.5 考察 / p44 (0028.jp2)
  22. 3.6 結言 / p47 (0029.jp2)
  23. 参考文献 / p48 (0030.jp2)
  24. 第4章 酸化多孔質シリコンメンブレンを用いたシリコン流速センサ / p50 (0031.jp2)
  25. 4.1 緒言 / p50 (0031.jp2)
  26. 4.2 熱設計 / p51 (0031.jp2)
  27. 4.3 チップ構造、回路およびセンサ構造の設計 / p57 (0034.jp2)
  28. 4.4 製作プロセス / p59 (0035.jp2)
  29. 4.5 センサ特性 / p60 (0036.jp2)
  30. 4.6 考察 / p62 (0037.jp2)
  31. 4.7 結言 / p65 (0038.jp2)
  32. 参考文献 / p66 (0039.jp2)
  33. 第5章 シリコン圧力・流速複合センサ / p67 (0039.jp2)
  34. 5.1 緒言 / p67 (0039.jp2)
  35. 5.2 構造とプロセス / p68 (0040.jp2)
  36. 5.3 実験装置 / p72 (0042.jp2)
  37. 5.4 測定結果 / p73 (0042.jp2)
  38. 5.5 考察 / p80 (0046.jp2)
  39. 5.6 結言 / p81 (0046.jp2)
  40. 参考文献 / p82 (0047.jp2)
  41. 第6章 切り欠きを有するシリコンチップ回りの流れ場 / p83 (0047.jp2)
  42. 6.1 緒言 / p83 (0047.jp2)
  43. 6.2 計算方法の概略 / p84 (0048.jp2)
  44. 6.3 計算結果 / p86 (0049.jp2)
  45. 6.4 考察 / p92 (0052.jp2)
  46. 6.5 結言 / p92 (0052.jp2)
  47. 参考文献 / p94 (0053.jp2)
  48. 第7章 シリコン圧力・流速複合センサの応用 / p95 (0053.jp2)
  49. 7.1 緒言 / p95 (0053.jp2)
  50. 7.2 エンジン吸気マニホールドへの応用 / p95 (0053.jp2)
  51. 7.3 人工心臓モデル流路への応用 / p101 (0056.jp2)
  52. 7.4 カテーテル先端型センサへの応用 / p107 (0059.jp2)
  53. 7.5 結言 / p113 (0062.jp2)
  54. 参考文献 / p114 (0063.jp2)
  55. 第8章 総括 / p115 (0063.jp2)
  56. 本研究に関連する発表、特許、受賞 / p118 (0065.jp2)
  57. 謝辞 / p122 (0067.jp2)
4アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000093038
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000952911
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000257352
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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