Si基板上に分子線エピタキシャル成長したGaAsの電気的特性と深い準位に関する研究

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著者

    • 伊藤, 明 イトウ, アキラ

書誌事項

タイトル

Si基板上に分子線エピタキシャル成長したGaAsの電気的特性と深い準位に関する研究

著者名

伊藤, 明

著者別名

イトウ, アキラ

学位授与大学

名古屋工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第109号

学位授与年月日

1993-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0004.jp2)
  2. 第1章 序論 / p4 (0006.jp2)
  3. 1.1 本研究の背景 / p4 (0006.jp2)
  4. 1.2 本研究の目的 / p7 (0007.jp2)
  5. 1.3 本研究の概要 / p8 (0008.jp2)
  6. 参考文献 / p10 (0009.jp2)
  7. 第2章 短時間熱処理によるSiOx保護膜を付けたMBE GaAsの深い準位の変化 / p13 (0010.jp2)
  8. 2.1 序 / p13 (0010.jp2)
  9. 2.2 実験方法 / p15 (0011.jp2)
  10. 2.3 接合容量を用いた深い準位の評価法 / p18 (0013.jp2)
  11. 2.4 実験結果と検討 / p28 (0018.jp2)
  12. 2.5 結言 / p38 (0023.jp2)
  13. 参考文献 / p39 (0023.jp2)
  14. 第3章 短時間熱処理によるSiNx保護膜を付けたMBE GaAsの深い準位の変化 / p41 (0024.jp2)
  15. 3.1 序 / p41 (0024.jp2)
  16. 3.2 実験方法 / p42 (0025.jp2)
  17. 3.3 実験結果と検討 / p43 (0025.jp2)
  18. 3.4 結言 / p51 (0029.jp2)
  19. 参考文献 / p52 (0030.jp2)
  20. 第4章 短時間熱処理によるMBE GaAs on Si中の深い準位の変化 / p53 (0030.jp2)
  21. 4.1 序 / p53 (0030.jp2)
  22. 4.2 実験方法 / p54 (0031.jp2)
  23. 4.3 実験結果と検討 / p55 (0031.jp2)
  24. 4.4 結言 / p63 (0035.jp2)
  25. 参考文献 / p64 (0036.jp2)
  26. 第5章 MBE GaAs on Si中の結晶性の乱れと熱処理による変化 / p66 (0037.jp2)
  27. 5.1 序 / p66 (0037.jp2)
  28. 5.2 実験方法 / p67 (0037.jp2)
  29. 5.3 ラマン分光法の原理 / p68 (0038.jp2)
  30. 5.4 実験結果と検討 / p72 (0040.jp2)
  31. 5.5 結言 / p81 (0044.jp2)
  32. 参考文献 / p80 (0044.jp2)
  33. 第6章 MBE GaAs on Siの表面及び界面状態の非接触評価 / p83 (0045.jp2)
  34. 6.1 序 / p83 (0045.jp2)
  35. 6.2 反射マイクロ波法を用いた表面及び界面付近の評価 / p83 (0045.jp2)
  36. 6.3 実験方法 / p86 (0047.jp2)
  37. 6.4 実験結果及び検討 / p88 (0048.jp2)
  38. 6.5 結言 / p94 (0051.jp2)
  39. 参考文献 / p95 (0051.jp2)
  40. 第7章 MBE GaAs on Siの電気的特性 / p97 (0052.jp2)
  41. 7.1 序 / p97 (0052.jp2)
  42. 7.2 分光感度から拡散長を求める方法 / p97 (0052.jp2)
  43. 7.3 ヘテロ接合の電流-電圧特性 / p100 (0054.jp2)
  44. 7.4 実験方法 / p101 (0054.jp2)
  45. 7.5 実験結果及び検討 / p103 (0055.jp2)
  46. 7.6 結言 / p112 (0060.jp2)
  47. 参考文献 / p113 (0060.jp2)
  48. 第8章 総括 / p114 (0061.jp2)
  49. 謝辞 / p118 (0063.jp2)
  50. 本研究に関する発表 / p119 (0063.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000093041
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000093267
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000257355
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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