窒素酸化物検知用半導体センサの開発に関する基礎的研究

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著者

    • 秋山, 守人 アキヤマ, モリト

書誌事項

タイトル

窒素酸化物検知用半導体センサの開発に関する基礎的研究

著者名

秋山, 守人

著者別名

アキヤマ, モリト

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第3142号

学位授与年月日

1993-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 緒言 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 全固体型ガスセンサの概要 / p2 (0007.jp2)
  5. 1.3 半導体ガスセンサ / p7 (0012.jp2)
  6. 1.4 窒素酸化物センサ / p20 (0025.jp2)
  7. 1.5 金属酸化物表面におけるNOxの吸着状態 / p21 (0026.jp2)
  8. 1.6 本研究の目的と概要 / p25 (0030.jp2)
  9. 参考文献 / p27 (0032.jp2)
  10. 第2章 SnO₂表面におけるNOxの吸脱着挙動と吸着形態 / p32 (0037.jp2)
  11. 2.1 緒言 / p32 (0037.jp2)
  12. 2.2 実験 / p33 (0038.jp2)
  13. 2.3 NOxの吸脱着挙動 / p38 (0043.jp2)
  14. 2.4 吸着種の導電率に及ぼす影響 / p42 (0047.jp2)
  15. 2.5 新吸着種の確認 / p45 (0050.jp2)
  16. 2.6 空気中でのNOの吸脱着挙動 / p47 (0052.jp2)
  17. 2.7 結論 / p49 (0054.jp2)
  18. 参考文献 / p50 (0055.jp2)
  19. 第3章 SnO₂系NOxセンサの可能性の検討 / p51 (0056.jp2)
  20. 3.1 緒言 / p51 (0056.jp2)
  21. 3.2 実験 / p52 (0057.jp2)
  22. 3.3 SnO₂素子のNOx応答特性 / p56 (0061.jp2)
  23. 3.4 Sn0₂表面修飾による検知特性の改善 / p58 (0063.jp2)
  24. 3.5 結論 / p64 (0069.jp2)
  25. 参考文献 / p66 (0071.jp2)
  26. 第4章 NOx感応性の高い酸化物半導体の探索 / p67 (0072.jp2)
  27. 4.1 緒言 / p67 (0072.jp2)
  28. 4.2 実験 / p68 (0073.jp2)
  29. 4.3 種々の酸化物素子のNOx感度 / p68 (0073.jp2)
  30. 4.4 種々の酸化物の応答性 / p71 (0076.jp2)
  31. 4.5 結論 / p73 (0078.jp2)
  32. 参考文献 / p74 (0079.jp2)
  33. 第5章 WO₃センサ素子のNOx応答特性 / p75 (0080.jp2)
  34. 5.1 緒言 / p75 (0080.jp2)
  35. 5.2 実験 / p75 (0080.jp2)
  36. 5.3 WO₃試料の調製法の影響 / p77 (0082.jp2)
  37. 5.4 NOxに対する応答特性 / p89 (0094.jp2)
  38. 5.5 共存ガスの影響 / p89 (0094.jp2)
  39. 5.6 フィールド試験 / p96 (0101.jp2)
  40. 5.7 結論 / p96 (0101.jp2)
  41. 参考文献 / p99 (0104.jp2)
  42. 第6章 WO₃センサのNOx検知機構と高感度化 / p100 (0105.jp2)
  43. 6.1 緒言 / p100 (0105.jp2)
  44. 6.2 実験 / p100 (0105.jp2)
  45. 6.3 検知機構の解明 / p103 (0108.jp2)
  46. 6.4 貴金属添加による高感度化 / p107 (0112.jp2)
  47. 6.5 結論 / p119 (0124.jp2)
  48. 参考文献 / p120 (0125.jp2)
  49. 第7章 総括 / p121 (0126.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000093316
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000093542
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000257630
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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