レーザー蛍光法によるプロセシングプラズマ中の粒子挙動に関する研究

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著者

    • 朴, 元柱 バク, ウォンジュ

書誌事項

タイトル

レーザー蛍光法によるプロセシングプラズマ中の粒子挙動に関する研究

著者名

朴, 元柱

著者別名

バク, ウォンジュ

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第3151号

学位授与年月日

1993-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 記号の説明 / 記1 / (0006.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0012.jp2)
  4. 1.1 プラズマプロセシングとレーザー計測 / p1 (0012.jp2)
  5. 1.2 本研究の意義と要約 / p7 (0018.jp2)
  6. 1.3 本論文の構成 / p8 (0019.jp2)
  7. 第2章 レーザー蛍光法の原理と本研究への適用条件 / p11 (0022.jp2)
  8. 2.1 まえがき / p11 (0022.jp2)
  9. 2.2 レーザー蛍光法の概要 / p12 (0023.jp2)
  10. 2.3 鉄原子の速度分布測定のためのレーザー蛍光法 / p18 (0029.jp2)
  11. 2.4 水素原子密度計測のための二光子励起レーザー蛍光法 / p22 (0033.jp2)
  12. 2.5 本章のまとめ / p29 (0040.jp2)
  13. 第3章 RFマグネトロンスパッター粒子の熱化過程 / p30 (0041.jp2)
  14. 3.1 まえがき / p30 (0041.jp2)
  15. 3.2 RFマグネトロンスパッタリングによるデポジションの概要 / p32 (0043.jp2)
  16. 3.3 実験装置 / p39 (0050.jp2)
  17. 3.4 実験結果及び考察 / p46 (0057.jp2)
  18. 3.5 本章のまとめ / p57 (0068.jp2)
  19. 第4章 プロセシングプラズマ中の水素原子密度計測 / p58 (0069.jp2)
  20. 4.1 まえがき / p58 (0069.jp2)
  21. 4.2 実験結果の整理法 / p60 (0071.jp2)
  22. 4.3 実験装置 / p62 (0073.jp2)
  23. 4.4 実験結果 / p76 (0087.jp2)
  24. 4.5 考察 / p78 (0089.jp2)
  25. 4.6 水素原子密度計測への適用 / p84 (0095.jp2)
  26. 4.7 本章のまとめ / p86 (0097.jp2)
  27. 第5章 総括 / p87 (0098.jp2)
  28. 5.1 結論 / p87 (0098.jp2)
  29. 5.2 今後の展望 / p88 (0099.jp2)
  30. 参考文献 / p90 (0101.jp2)
  31. 謝辞 / p94 (0105.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000093325
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000093551
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000257639
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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