AlGaSb系のMOMBEと成長機構に関する研究

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著者

    • 奥野, 泰利 オクノ, ヤストシ

書誌事項

タイトル

AlGaSb系のMOMBEと成長機構に関する研究

著者名

奥野, 泰利

著者別名

オクノ, ヤストシ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第4808号

学位授与年月日

1993-03-25

注記・抄録

博士論文

10757

博士(工学)

1993-03-25

大阪大学

14401甲第04808号

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0004.jp2)
  3. 1.1.背景 / p1 (0004.jp2)
  4. 1.2.目的 / p3 (0005.jp2)
  5. 1.3.構成 / p3 (0005.jp2)
  6. 参考文献 / p6 (0007.jp2)
  7. 第2章 実験装置と実験方法 / p8 (0008.jp2)
  8. 2.1.緒言 / p8 (0008.jp2)
  9. 2.2.MOMBE装置 / p8 (0008.jp2)
  10. 2.3.有機金属ガス原料とガス供給装置 / p10 (0009.jp2)
  11. 2.4.MOMBE成長 / p11 (0009.jp2)
  12. 2.5.成長膜の評価 / p14 (0011.jp2)
  13. 2.6.結言 / p15 (0011.jp2)
  14. 参考文献 / p16 (0012.jp2)
  15. 第3章 GaSbの成長と評価 / p17 (0012.jp2)
  16. 3.1.緒言 / p17 (0012.jp2)
  17. 3.2.実験と考察 / p17 (0012.jp2)
  18. 3.3.結言 / p20 (0014.jp2)
  19. 参考文献 / p21 (0014.jp2)
  20. 第4章 AlSbの成長 / p22 (0015.jp2)
  21. 4.1.緒言 / p22 (0015.jp2)
  22. 4.2.有機Alガス原料 / p22 (0015.jp2)
  23. 4.3.TMAlを用いた成長 / p23 (0015.jp2)
  24. 4.4.TIBAlを用いた成長 / p27 (0017.jp2)
  25. 4.5.TMAAlを用いた成長 / p32 (0020.jp2)
  26. 4.6.結言 / p34 (0021.jp2)
  27. 参考文献 / p35 (0021.jp2)
  28. 第5章 AlGaSbの成長 / p37 (0022.jp2)
  29. 5.1.緒言 / p37 (0022.jp2)
  30. 5.2.TIBAlを用いた成長 / p37 (0022.jp2)
  31. 5.3.TMAAlを用いた成長 / p42 (0025.jp2)
  32. 5.結言 / p45 (0026.jp2)
  33. 参考文献 / p46 (0027.jp2)
  34. 第6章 GaSbの選択成長 / p47 (0027.jp2)
  35. 6.1.緒言 / p47 (0027.jp2)
  36. 6.2.実験 / p47 (0027.jp2)
  37. 6.3.結果と考察 / p47 (0027.jp2)
  38. 6.4.結言 / p52 (0030.jp2)
  39. 参考文献 / p53 (0030.jp2)
  40. 第7章 MOMBEの成長機構 / p54 (0031.jp2)
  41. 7.1.緒言 / p54 (0031.jp2)
  42. 7.2.有機金属の表面拡散長 / p54 (0031.jp2)
  43. 7.3.分子軌道法計算による検討 / p62 (0035.jp2)
  44. 7.4.MOMBE成長におけるV族元素依存性 / p75 (0041.jp2)
  45. 7.5.結言 / p85 (0046.jp2)
  46. 参考文献 / p87 (0047.jp2)
  47. 8.結論 / p89 (0048.jp2)
  48. 謝辞 / p92 (0050.jp2)
  49. 研究業績 / p93 (0050.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000093714
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000093940
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000258028
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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