AlGaSb系のMOMBEと成長機構に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
AlGaSb系のMOMBEと成長機構に関する研究
- Author
-
奥野, 泰利
- Author(Another name)
-
オクノ, ヤストシ
- University
-
大阪大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第4808号
- Degree year
-
1993-03-25
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0004.jp2)
- 1.1.背景 / p1 (0004.jp2)
- 1.2.目的 / p3 (0005.jp2)
- 1.3.構成 / p3 (0005.jp2)
- 参考文献 / p6 (0007.jp2)
- 第2章 実験装置と実験方法 / p8 (0008.jp2)
- 2.1.緒言 / p8 (0008.jp2)
- 2.2.MOMBE装置 / p8 (0008.jp2)
- 2.3.有機金属ガス原料とガス供給装置 / p10 (0009.jp2)
- 2.4.MOMBE成長 / p11 (0009.jp2)
- 2.5.成長膜の評価 / p14 (0011.jp2)
- 2.6.結言 / p15 (0011.jp2)
- 参考文献 / p16 (0012.jp2)
- 第3章 GaSbの成長と評価 / p17 (0012.jp2)
- 3.1.緒言 / p17 (0012.jp2)
- 3.2.実験と考察 / p17 (0012.jp2)
- 3.3.結言 / p20 (0014.jp2)
- 参考文献 / p21 (0014.jp2)
- 第4章 AlSbの成長 / p22 (0015.jp2)
- 4.1.緒言 / p22 (0015.jp2)
- 4.2.有機Alガス原料 / p22 (0015.jp2)
- 4.3.TMAlを用いた成長 / p23 (0015.jp2)
- 4.4.TIBAlを用いた成長 / p27 (0017.jp2)
- 4.5.TMAAlを用いた成長 / p32 (0020.jp2)
- 4.6.結言 / p34 (0021.jp2)
- 参考文献 / p35 (0021.jp2)
- 第5章 AlGaSbの成長 / p37 (0022.jp2)
- 5.1.緒言 / p37 (0022.jp2)
- 5.2.TIBAlを用いた成長 / p37 (0022.jp2)
- 5.3.TMAAlを用いた成長 / p42 (0025.jp2)
- 5.結言 / p45 (0026.jp2)
- 参考文献 / p46 (0027.jp2)
- 第6章 GaSbの選択成長 / p47 (0027.jp2)
- 6.1.緒言 / p47 (0027.jp2)
- 6.2.実験 / p47 (0027.jp2)
- 6.3.結果と考察 / p47 (0027.jp2)
- 6.4.結言 / p52 (0030.jp2)
- 参考文献 / p53 (0030.jp2)
- 第7章 MOMBEの成長機構 / p54 (0031.jp2)
- 7.1.緒言 / p54 (0031.jp2)
- 7.2.有機金属の表面拡散長 / p54 (0031.jp2)
- 7.3.分子軌道法計算による検討 / p62 (0035.jp2)
- 7.4.MOMBE成長におけるV族元素依存性 / p75 (0041.jp2)
- 7.5.結言 / p85 (0046.jp2)
- 参考文献 / p87 (0047.jp2)
- 8.結論 / p89 (0048.jp2)
- 謝辞 / p92 (0050.jp2)
- 研究業績 / p93 (0050.jp2)
