表面定量分析の精度向上に関する研究 : 二次イオン質量分析法およびラザフォード後方散乱法を中心として
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- Title
-
表面定量分析の精度向上に関する研究 : 二次イオン質量分析法およびラザフォード後方散乱法を中心として
- Author
-
草尾, 健司
- Author(Another name)
-
クサオ, ケンジ
- University
-
大阪大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
乙第5865号
- Degree year
-
1992-12-28
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / (0003.jp2)
- 序論 / p1 (0005.jp2)
- 第1章 SIMSとRBSの相補的役割の検討 / p4 (0007.jp2)
- 1.1 はじめに / p4 (0007.jp2)
- 1.2 表面分析法を中心としたキャラクタリゼーション技術の発展 / p4 (0007.jp2)
- 1.3 絶対検出下限から見た表面分析 / p7 (0008.jp2)
- 1.4 表面分析におけるSIMSとRBSの役割 / p10 (0010.jp2)
- 1.5 まとめ / p13 (0011.jp2)
- 参考文献 / p13 (0011.jp2)
- 第2章 SIMSとRBSの概要 / p14 (0012.jp2)
- 2.1 SIMSの原理と特徴 / p14 (0012.jp2)
- 2.2 SIMS装置の基本構成 / p15 (0012.jp2)
- 2.3 SIMSによる分析 / p20 (0015.jp2)
- 2.4 RBSの原理 / p23 (0016.jp2)
- 2.5 RBSの定量分析法 / p30 (0020.jp2)
- 参考文献 / p36 (0023.jp2)
- 第3章 SIMS装置の開発 / p38 (0024.jp2)
- 3.1 はじめに / p38 (0024.jp2)
- 3.2 一次イオン光学系 / p38 (0024.jp2)
- 3.3 二次イオン光学系 / p46 (0028.jp2)
- 3.4 まとめ / p54 (0032.jp2)
- 参考文献 / p54 (0032.jp2)
- 第4章 SIMSにおける酸素ガス導入分析法の開発 / p55 (0032.jp2)
- 4.1 はじめに / p55 (0032.jp2)
- 4.2 酸素による二次イオン放出 / p56 (0033.jp2)
- 4.3 酸素吸着面からの二次イオン放出 / p61 (0035.jp2)
- 4.4 酸素ガス導入による測定精度の向上 / p72 (0041.jp2)
- 4.5 酸化物の定量分析への応用 / p80 (0045.jp2)
- 4.6 SIMS分析における酸素ガスの効果 / p90 (0050.jp2)
- 4.7 まとめ / p96 (0053.jp2)
- 参考文献 / p97 (0053.jp2)
- 第5章 RBSの定量分析法(面積比法)の開発 / p100 (0055.jp2)
- 5.1 はじめに / p100 (0055.jp2)
- 5.2 従来の面積比法の導出 / p100 (0055.jp2)
- 5.3 シミュレーションソフトの開発 / p103 (0056.jp2)
- 5.4 面積比法の原理 / p106 (0058.jp2)
- 5.5 面積比法の実験による検証 / p108 (0059.jp2)
- 5.6 RBSの測定精度の検討 / p112 (0061.jp2)
- 5.7 種々のRBSの定量分析法の特徴と比較 / p116 (0063.jp2)
- 5.8 まとめ / p122 (0066.jp2)
- 参考文献 / p123 (0066.jp2)
- 結論 / p124 (0067.jp2)
- 謝辞 / p127 (0068.jp2)
