100mm級偏向電子線による大面積電子デバイスの直接露光技術の研究

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著者

    • 星之内, 進 ホシノウチ, ススム

書誌事項

タイトル

100mm級偏向電子線による大面積電子デバイスの直接露光技術の研究

著者名

星之内, 進

著者別名

ホシノウチ, ススム

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第5872号

学位授与年月日

1992-12-28

注記・抄録

博士論文

10498

博士(工学)

1992-12-28

大阪大学

14401乙第05872号

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 第2章 大面積偏向大電流電子光学系の設計 / p7 (0008.jp2)
  4. 2-1 緒言 / p7 (0008.jp2)
  5. 2-2 電子光学系の仕様と設計フローの抽出 / p8 (0009.jp2)
  6. 2-3 電子光学系の設計 / p13 (0011.jp2)
  7. 2-4 試作電子光学系の電子ビーム特性の測定と解析 / p26 (0018.jp2)
  8. 2-5 結言 / p49 (0029.jp2)
  9. Appendix 偏向にともなう非点収差の発生メカニズム / p51 (0030.jp2)
  10. 第3章 紫外線・電子線両用レジストの提案と電子線露光現象の解析 / p52 (0031.jp2)
  11. 3-1 緒言 / p52 (0031.jp2)
  12. 3-2 紫外線・電子線両用レジストの提案と露光特性の解析 / p53 (0031.jp2)
  13. 3-3 レジストパターンプロファイルのモンテカルロシミュレーションによる評価 / p61 (0035.jp2)
  14. 3-4 結言 / p66 (0038.jp2)
  15. 第4章 平面回路の線幅制御法と立体回路のスルーホール内壁露光法の提案 / p68 (0039.jp2)
  16. 4-1 緒言 / p68 (0039.jp2)
  17. 4-2 副偏向重畳主偏向走査によるパターン幅制御法の提案と効果の検証 / p70 (0040.jp2)
  18. 4-3 スルーホール内壁露光法の提案と効果の検証 / p76 (0043.jp2)
  19. 4-4 結言 / p86 (0048.jp2)
  20. 第5章 大面積電子線露光装置の試作と適用性の検討 / p88 (0049.jp2)
  21. 5-1 緒言 / p88 (0049.jp2)
  22. 5-2 大面積電子線露光装置の試作 / p88 (0049.jp2)
  23. 5-3 高密度プリント配線板への適用性の評価 / p99 (0054.jp2)
  24. 5-4 結言 / p101 (0055.jp2)
  25. 第6章 本論文の総括 / p103 (0056.jp2)
  26. 参考文献 / p107 (0058.jp2)
  27. List of Publications / p111 (0060.jp2)
  28. 謝辞 / p113 (0061.jp2)
1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000093763
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000093989
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000258077
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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