高分解能走査型透過電子顕微鏡に関する研究

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著者

    • 原田, 嘉晏 ハラダ, ヨシヤス

書誌事項

タイトル

高分解能走査型透過電子顕微鏡に関する研究

著者名

原田, 嘉晏

著者別名

ハラダ, ヨシヤス

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第5917号

学位授与年月日

1993-03-02

注記・抄録

博士論文

10546

博士(工学)

1993-03-02

大阪大学

14401乙第05917号

目次

  1. 目 次 / p3 (0004.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 高分解能走査型透過電子顕微鏡の必要性と課題 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 高分解能走査型透過電子顕微鏡に関する従来の研究 / p4 (0008.jp2)
  5. 1.3 各章のテーマと位置づけ / p9 (0010.jp2)
  6. 第2章 熱電界放出電子源の安定性特性 / p11 (0011.jp2)
  7. 2.1 序 / p11 (0011.jp2)
  8. 2.2 W(111)面とW(100)面のビルドアップ方法 / p11 (0011.jp2)
  9. 2.3 W(100)面ビルドアップ容易なエミッタ先端の形状 / p16 (0014.jp2)
  10. 2.4 熱電界放出電子の角度分布と電流密度の測定 / p19 (0015.jp2)
  11. 2.5 熱電界放出電子の(短期/長期)安定性 / p20 (0016.jp2)
  12. 2.6 結び / p24 (0018.jp2)
  13. 第3章 熱電界放出電子銃の研究 / p27 (0019.jp2)
  14. 3.1 序 / p27 (0019.jp2)
  15. 3.2 熱電界放出電子銃の設計 / p27 (0019.jp2)
  16. 3.3 熱電界放出電子銃の特性 / p35 (0023.jp2)
  17. 3.4 熱電界放出電子銃の改良 / p46 (0029.jp2)
  18. 3.5 結び / p56 (0034.jp2)
  19. 第4章 高分解能対物レンズの設計法 / p58 (0035.jp2)
  20. 4.1 序 / p58 (0035.jp2)
  21. 4.2 TEM用高分解能対物レンズの設計法 / p58 (0035.jp2)
  22. 4.3 HR-STEM用対物レンズの設計 / p64 (0038.jp2)
  23. 4.4 結び / p74 (0044.jp2)
  24. 第5章 電子光学系の設計 / p75 (0044.jp2)
  25. 5.1 序 / p75 (0044.jp2)
  26. 5.2 電子光学系の概要 / p75 (0044.jp2)
  27. 5.3 微小電子プローブ形成用照射レンズ系の設計 / p79 (0046.jp2)
  28. 5.4 結像レンズ系の設計 / p83 (0048.jp2)
  29. 5.5 結び / p83 (0048.jp2)
  30. 第6章 鏡筒の超高真空化 / p85 (0049.jp2)
  31. 6.1 序 / p85 (0049.jp2)
  32. 6.2 鏡筒の超高真空設計 / p85 (0049.jp2)
  33. 6.3 鏡筒真空の計算と測定 / p91 (0052.jp2)
  34. 6.4 試料処理室の超高真空化設計 / p94 (0054.jp2)
  35. 6.5 結び / p97 (0055.jp2)
  36. 第7章 高分解能走査型透過電子顕微鏡の試作と応用 / p98 (0056.jp2)
  37. 7.1 序 / p98 (0056.jp2)
  38. 7.2 高分解能走査型透過電子顕微鏡の構造 / p98 (0056.jp2)
  39. 7.3 高分解能走査型透過電子顕微鏡の像信号一系 / p100 (0057.jp2)
  40. 7.4 高分解能走査型透過電子顕微鏡の基本性能 / p102 (0058.jp2)
  41. 7.5 結び / p112 (0063.jp2)
  42. 第8章 結論 / p114 (0064.jp2)
  43. 謝辞 / p118 (0066.jp2)
  44. 参考文献 / p119 (0066.jp2)
  45. 関連発表論文 / p127 (0070.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000093808
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000094034
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000258122
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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