レーザビーム基準直進機構を用いた円筒度測定法の開発

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著者

    • 万, 徳安 ワン, トーアン

書誌事項

タイトル

レーザビーム基準直進機構を用いた円筒度測定法の開発

著者名

万, 徳安

著者別名

ワン, トーアン

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第5919号

学位授与年月日

1993-03-02

注記・抄録

博士論文

10548

博士(工学)

1993-03-02

大阪大学

14401乙第05919号

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 第I編 レーザビーム直線基準による高精度直進運動機構の開発 / p3 (0006.jp2)
  4. 第1章 緒論 / p3 (0006.jp2)
  5. 1.1 第I編研究の歴史的背景と課題 / p3 (0006.jp2)
  6. 1.2 第I編研究の目的及び意義 / p4 (0007.jp2)
  7. 1.3 第I編論文の構成と各章の概要 / p4 (0007.jp2)
  8. 第2章 光線基準による直進運動システムの構成 / p6 (0008.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p6 (0008.jp2)
  10. 2.2 直進運動誤差の定義 / p6 (0008.jp2)
  11. 2.3 レーザ光点検出器による直進運動精度の測定原理 / p7 (0008.jp2)
  12. 2.4 光点付置検出原理および装置 / p9 (0009.jp2)
  13. 2.5 QPD検出器の分解能測定 / p14 (0012.jp2)
  14. 2.6 レーザビーム基準による直進運動機構の構成 / p16 (0013.jp2)
  15. 2.7 結言 / p17 (0013.jp2)
  16. 第3章 レーザ源熱変形のビーム方向安定性への影響とその安定化対策 / p18 (0014.jp2)
  17. 3.1 緒言 / p18 (0014.jp2)
  18. 3.2 レーザ源の熱変形の理論解析 / p18 (0014.jp2)
  19. 3.3 レーザ源の熱変形の数理モデル解析 / p21 (0015.jp2)
  20. 3.4 レーザ源の温度分布の測定 / p27 (0018.jp2)
  21. 3.5 レーザビーム方向安定性の測定 / p31 (0020.jp2)
  22. 3.6 レーザビームの熱変動影響の対策 / p33 (0021.jp2)
  23. 3.7 結言 / p44 (0027.jp2)
  24. 第4章 光路中の空気の流れの影響とその対策 / p45 (0027.jp2)
  25. 4.1 緒言 / p45 (0027.jp2)
  26. 4.2 屈折率変動のレーザビーム安定性に対する影響の理論解析 / p45 (0027.jp2)
  27. 4.3 光路内の空気流動によるレーザビーム方向安定性の測定 / p51 (0030.jp2)
  28. 4.4 空気の密度変化とレーザビーム方向安定性のシミュレーション / p53 (0031.jp2)
  29. 4.5 真空光路の製作 / p58 (0034.jp2)
  30. 4.6 結言 / p60 (0035.jp2)
  31. 第5章 レーザビーム直線基準による高精度直進運動機構の開発 / p61 (0035.jp2)
  32. 5.1 緒言 / p61 (0035.jp2)
  33. 5.2 大型直進運動機構の製作 / p61 (0035.jp2)
  34. 5.3 試作した直進運動機構の性能 / p65 (0037.jp2)
  35. 5.4 レーサビーム直線基準による直進運動誤差の測定 / p75 (0042.jp2)
  36. 5.5 アルミディスク基板形状誤差の測定 / p76 (0043.jp2)
  37. 5.6 ブロックゲージ形状誤差の測定 / p79 (0044.jp2)
  38. 5.7 光学ミラーの形状誤差の測定 / p81 (0045.jp2)
  39. 5.8 結言 / p82 (0046.jp2)
  40. 第6章 結論 / p83 (0046.jp2)
  41. 第I編の参考文献 / p84 (0047.jp2)
  42. 第II編 レーザビーム直線基準による円筒度の高精度測定法 / p87 (0048.jp2)
  43. 第1章 緒論 / p87 (0048.jp2)
  44. 1.1 第II編研究の歴史的背景と課題 / p87 (0048.jp2)
  45. 1.2 第II編研究の目的及び意義 / p88 (0049.jp2)
  46. 1.3 第II編論文の構成と各章の概要 / p89 (0049.jp2)
  47. 第2章 円筒度誤差の測定理論 / p90 (0050.jp2)
  48. 2.1 緒言 / p90 (0050.jp2)
  49. 2.2 真円度と円筒度の定義 / p91 (0050.jp2)
  50. 2.3 微小誤差の仮定 / p93 (0051.jp2)
  51. 2.4 最小自乗法の数理モデル / p94 (0052.jp2)
  52. 2.5 最小領域方法の数理モデル / p101 (0055.jp2)
  53. 2.6 結言 / p107 (0058.jp2)
  54. 第3章 主軸回転運動精度の測定 / p108 (0059.jp2)
  55. 3.1 緒言 / p108 (0059.jp2)
  56. 3.2 主軸回転運動の幾何学モデル / p108 (0059.jp2)
  57. 3.3 軸回転運動誤差の解析の幾何学モデル / p110 (0060.jp2)
  58. 3.4 理想円中心運動の周波数特性解析 / p118 (0064.jp2)
  59. 3.5 結言 / p120 (0065.jp2)
  60. 第4章 3点法における真円度誤差と回転運動誤差の分離 / p122 (0066.jp2)
  61. 4.1 緒言 / p122 (0066.jp2)
  62. 4.2 3点法の測定理論 / p122 (0066.jp2)
  63. 4.3 3点法真円度の測定方法 / p125 (0067.jp2)
  64. 4.4 3点法測定方法の検討 / p127 (0068.jp2)
  65. 4.5 結言 / p134 (0072.jp2)
  66. 第5章 レーザビーム直線基準による4点法円筒度の測定法の開発 / p135 (0072.jp2)
  67. 5.1 緒言 / p135 (0072.jp2)
  68. 5.2 4点法円筒度誤差の測定原理 / p137 (0073.jp2)
  69. 5.3 測定装置の設計と製作及びその性能 / p145 (0077.jp2)
  70. 5.4 測定装置の性能測定 / p147 (0078.jp2)
  71. 5.5 結言 / p151 (0080.jp2)
  72. 第6章 軸円筒度の実測結果 / p152 (0081.jp2)
  73. 6.1 緒言 / p152 (0081.jp2)
  74. 6.2 円筒度測定のデータ処理の流れ / p152 (0081.jp2)
  75. 6.3 真円度誤差の測定 / p154 (0082.jp2)
  76. 6.4 4点法による軸の回転運動誤差の測定 / p158 (0084.jp2)
  77. 6.5 形状中心位置と偏心の測定 / p161 (0085.jp2)
  78. 6.6 円筒度誤差の表示 / p163 (0086.jp2)
  79. 6.7 結言 / p166 (0088.jp2)
  80. 第7章 結論 / p167 (0088.jp2)
  81. 第II編の参考文献 / p169 (0089.jp2)
  82. 総括 / p171 (0090.jp2)
  83. 謝辞 / p172 (0091.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000093810
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000094036
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000258124
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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