ボルツマン方程式を用いた反応性ガス中の電子スウォームの解析とマグネトロン放電のCT診断に関する研究

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著者

    • 志村, 尚彦 シムラ, ナオヒコ

書誌事項

タイトル

ボルツマン方程式を用いた反応性ガス中の電子スウォームの解析とマグネトロン放電のCT診断に関する研究

著者名

志村, 尚彦

著者別名

シムラ, ナオヒコ

学位授与大学

慶應義塾大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第1208号

学位授与年月日

1993-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. もくじ / p1 (0005.jp2)
  3. 1 緒論 / p1 (0010.jp2)
  4. 1.1 プロセシングプラズマ / p2 (0011.jp2)
  5. 1.2 スウォーム解析の現状 / p5 (0014.jp2)
  6. 1.3 DCマグネトロン放電 / p6 (0015.jp2)
  7. 1.4 本論文の目的・構成 / p7 (0016.jp2)
  8. 2 Boltzmann方程式と速度分布関数 / p9 (0018.jp2)
  9. 2.1 ボルツマン方程式(Boltzmann Equation) / p10 (0019.jp2)
  10. 2.2 衝突項 / p11 (0020.jp2)
  11. 2.3 速度分布関数の流体力学的記述 / p18 (0027.jp2)
  12. 2.4 輸送係数 / p19 (0028.jp2)
  13. 2.5 電子密度勾配により展開された速度分布ɡk(υ) / p22 (0031.jp2)
  14. 2.6 速度分布の速度空間における球関数展開 / p24 (0033.jp2)
  15. 3 有限要素法による離散化 / p25 (0034.jp2)
  16. 3.1 E×B場の極座標による表現 / p26 (0035.jp2)
  17. 3.2 有限要素法による離散化の準備 / p26 (0035.jp2)
  18. 3.3 相似則 / p30 (0039.jp2)
  19. 3.4 有限要素法による離散化 / p30 (0039.jp2)
  20. 3.5 規格化条件と輸送係数 / p42 (0051.jp2)
  21. 3.6 計算におけるパラメータの決定 / p44 (0053.jp2)
  22. 4 CH₄中の電子輸送特性 / p46 (0055.jp2)
  23. 4.1 概要 / p47 (0056.jp2)
  24. 4.2 計算に使用した断面積 / p48 (0057.jp2)
  25. 4.3 衝突レート / p48 (0057.jp2)
  26. 4.4 ドリフト速度 / p53 (0062.jp2)
  27. 4.5 拡散係数 / p53 (0062.jp2)
  28. 4.6 速度分布ɡº(υ)の結果 / p57 (0066.jp2)
  29. 4.7 速度分布[数式]の結果 / p61 (0070.jp2)
  30. 4.8 速度分布[数式]の結果 / p66 (0075.jp2)
  31. 4.9 速度分布ɡ²(υ)の結果 / p66 (0075.jp2)
  32. 4.10 まとめ / p71 (0080.jp2)
  33. 5 HCl中の電子輸送特性 / p72 (0081.jp2)
  34. 5.1 概要 / p73 (0082.jp2)
  35. 5.2 衝突断面積 / p74 (0083.jp2)
  36. 5.3 衝突レート係数 / p74 (0083.jp2)
  37. 5.4 ドリフト速度 / p77 (0086.jp2)
  38. 5.5 拡散係数 / p77 (0086.jp2)
  39. 5.6 速度分布ɡº(υ)の結果 / p79 (0088.jp2)
  40. 5.7 速度分布[数式]の結果 / p81 (0090.jp2)
  41. 5.8 速度分布[数式]の結果 / p86 (0095.jp2)
  42. 5.9 まとめ / p88 (0097.jp2)
  43. 6 SF₆中の電子輸送特性 / p89 (0098.jp2)
  44. 6.1 概要 / p90 (0099.jp2)
  45. 6.2 衝突断面積 / p91 (0100.jp2)
  46. 6.3 衝突レート / p91 (0100.jp2)
  47. 6.4 ドリフト速度 / p94 (0103.jp2)
  48. 6.5 拡散係数 / p95 (0104.jp2)
  49. 6.6 速度分布ɡ⁰(υ)の結果 / p95 (0104.jp2)
  50. 6.7 速度分布[数式]の結果 / p99 (0108.jp2)
  51. 6.8 速度分布[数式]の結果 / p99 (0108.jp2)
  52. 6.9 RFグロー放電の励起時空間分布 / p107 (0116.jp2)
  53. 6.10 まとめ / p109 (0118.jp2)
  54. 7 混合ガス中の電子輸送特性 / p110 (0119.jp2)
  55. 7.1 概要 / p111 (0120.jp2)
  56. 7.2 衝突断面積 / p112 (0121.jp2)
  57. 7.3 衝突レート / p117 (0126.jp2)
  58. 7.4 平均エネルギー / p120 (0129.jp2)
  59. 7.5 ドリフト速度 / p124 (0133.jp2)
  60. 7.6 拡散係数 / p124 (0133.jp2)
  61. 7.7 速度分布ɡ⁰(υ)の比較 / p128 (0137.jp2)
  62. 7.8 まとめ / p133 (0142.jp2)
  63. 8 E×B場中の電子輸送特性 / p134 (0143.jp2)
  64. 8.1 概要 / p135 (0144.jp2)
  65. 8.2 Ramp Model断面積 / p136 (0145.jp2)
  66. 8.3 Ar中の電子輸送特性 / p137 (0146.jp2)
  67. 8.4 [数式]の結果 / p143 (0152.jp2)
  68. 8.5 まとめ / p146 (0155.jp2)
  69. 9 Arマグネトロン放電のCT測定 / p147 (0156.jp2)
  70. 9.1 概要 / p148 (0157.jp2)
  71. 9.2 連続系Radon変換対 / p148 (0157.jp2)
  72. 9.3 再構成の手法 / p152 (0161.jp2)
  73. 9.4 実験装置系 / p157 (0166.jp2)
  74. 9.5 実験結果 / p164 (0173.jp2)
  75. 9.6 まとめ / p169 (0178.jp2)
  76. 10 結論 / p170 (0179.jp2)
  77. 10.1 はじめに / p171 (0180.jp2)
  78. 10.2 CH₄中の電子輸送特性 / p171 (0180.jp2)
  79. 10.3 HCl中の電子輸送特性 / p172 (0181.jp2)
  80. 10.4 SF₆中の電子輸送特性 / p172 (0181.jp2)
  81. 10.5 He/N₂/CO₂混合ガス中の電子輸送特性 / p173 (0182.jp2)
  82. 10.6 E×B場中の電子輸送特性 / p174 (0183.jp2)
  83. 10.7 マグネトロン放電のCT測定 / p174 (0183.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000093864
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000094090
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000258178
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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