ボルツマン方程式を用いた反応性ガス中の電子スウォームの解析とマグネトロン放電のCT診断に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
ボルツマン方程式を用いた反応性ガス中の電子スウォームの解析とマグネトロン放電のCT診断に関する研究
- 著者名
-
志村, 尚彦
- 著者別名
-
シムラ, ナオヒコ
- 学位授与大学
-
慶應義塾大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第1208号
- 学位授与年月日
-
1993-03-23
注記・抄録
博士論文
目次
- 論文目録 / (0001.jp2)
- もくじ / p1 (0005.jp2)
- 1 緒論 / p1 (0010.jp2)
- 1.1 プロセシングプラズマ / p2 (0011.jp2)
- 1.2 スウォーム解析の現状 / p5 (0014.jp2)
- 1.3 DCマグネトロン放電 / p6 (0015.jp2)
- 1.4 本論文の目的･構成 / p7 (0016.jp2)
- 2 Boltzmann方程式と速度分布関数 / p9 (0018.jp2)
- 2.1 ボルツマン方程式(Boltzmann Equation) / p10 (0019.jp2)
- 2.2 衝突項 / p11 (0020.jp2)
- 2.3 速度分布関数の流体力学的記述 / p18 (0027.jp2)
- 2.4 輸送係数 / p19 (0028.jp2)
- 2.5 電子密度勾配により展開された速度分布ɡk(υ) / p22 (0031.jp2)
- 2.6 速度分布の速度空間における球関数展開 / p24 (0033.jp2)
- 3 有限要素法による離散化 / p25 (0034.jp2)
- 3.1 E×B場の極座標による表現 / p26 (0035.jp2)
- 3.2 有限要素法による離散化の準備 / p26 (0035.jp2)
- 3.3 相似則 / p30 (0039.jp2)
- 3.4 有限要素法による離散化 / p30 (0039.jp2)
- 3.5 規格化条件と輸送係数 / p42 (0051.jp2)
- 3.6 計算におけるパラメータの決定 / p44 (0053.jp2)
- 4 CH₄中の電子輸送特性 / p46 (0055.jp2)
- 4.1 概要 / p47 (0056.jp2)
- 4.2 計算に使用した断面積 / p48 (0057.jp2)
- 4.3 衝突レート / p48 (0057.jp2)
- 4.4 ドリフト速度 / p53 (0062.jp2)
- 4.5 拡散係数 / p53 (0062.jp2)
- 4.6 速度分布ɡº(υ)の結果 / p57 (0066.jp2)
- 4.7 速度分布[数式]の結果 / p61 (0070.jp2)
- 4.8 速度分布[数式]の結果 / p66 (0075.jp2)
- 4.9 速度分布ɡ²(υ)の結果 / p66 (0075.jp2)
- 4.10 まとめ / p71 (0080.jp2)
- 5 HCl中の電子輸送特性 / p72 (0081.jp2)
- 5.1 概要 / p73 (0082.jp2)
- 5.2 衝突断面積 / p74 (0083.jp2)
- 5.3 衝突レート係数 / p74 (0083.jp2)
- 5.4 ドリフト速度 / p77 (0086.jp2)
- 5.5 拡散係数 / p77 (0086.jp2)
- 5.6 速度分布ɡº(υ)の結果 / p79 (0088.jp2)
- 5.7 速度分布[数式]の結果 / p81 (0090.jp2)
- 5.8 速度分布[数式]の結果 / p86 (0095.jp2)
- 5.9 まとめ / p88 (0097.jp2)
- 6 SF₆中の電子輸送特性 / p89 (0098.jp2)
- 6.1 概要 / p90 (0099.jp2)
- 6.2 衝突断面積 / p91 (0100.jp2)
- 6.3 衝突レート / p91 (0100.jp2)
- 6.4 ドリフト速度 / p94 (0103.jp2)
- 6.5 拡散係数 / p95 (0104.jp2)
- 6.6 速度分布ɡ⁰(υ)の結果 / p95 (0104.jp2)
- 6.7 速度分布[数式]の結果 / p99 (0108.jp2)
- 6.8 速度分布[数式]の結果 / p99 (0108.jp2)
- 6.9 RFグロー放電の励起時空間分布 / p107 (0116.jp2)
- 6.10 まとめ / p109 (0118.jp2)
- 7 混合ガス中の電子輸送特性 / p110 (0119.jp2)
- 7.1 概要 / p111 (0120.jp2)
- 7.2 衝突断面積 / p112 (0121.jp2)
- 7.3 衝突レート / p117 (0126.jp2)
- 7.4 平均エネルギー / p120 (0129.jp2)
- 7.5 ドリフト速度 / p124 (0133.jp2)
- 7.6 拡散係数 / p124 (0133.jp2)
- 7.7 速度分布ɡ⁰(υ)の比較 / p128 (0137.jp2)
- 7.8 まとめ / p133 (0142.jp2)
- 8 E×B場中の電子輸送特性 / p134 (0143.jp2)
- 8.1 概要 / p135 (0144.jp2)
- 8.2 Ramp Model断面積 / p136 (0145.jp2)
- 8.3 Ar中の電子輸送特性 / p137 (0146.jp2)
- 8.4 [数式]の結果 / p143 (0152.jp2)
- 8.5 まとめ / p146 (0155.jp2)
- 9 Arマグネトロン放電のCT測定 / p147 (0156.jp2)
- 9.1 概要 / p148 (0157.jp2)
- 9.2 連続系Radon変換対 / p148 (0157.jp2)
- 9.3 再構成の手法 / p152 (0161.jp2)
- 9.4 実験装置系 / p157 (0166.jp2)
- 9.5 実験結果 / p164 (0173.jp2)
- 9.6 まとめ / p169 (0178.jp2)
- 10 結論 / p170 (0179.jp2)
- 10.1 はじめに / p171 (0180.jp2)
- 10.2 CH₄中の電子輸送特性 / p171 (0180.jp2)
- 10.3 HCl中の電子輸送特性 / p172 (0181.jp2)
- 10.4 SF₆中の電子輸送特性 / p172 (0181.jp2)
- 10.5 He/N₂/CO₂混合ガス中の電子輸送特性 / p173 (0182.jp2)
- 10.6 E×B場中の電子輸送特性 / p174 (0183.jp2)
- 10.7 マグネトロン放電のCT測定 / p174 (0183.jp2)
