金属(Pd,Mn)-シリコン接合界面形成と電子状態

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著者

    • 川本, 聡 カワモト, サトシ

書誌事項

タイトル

金属(Pd,Mn)-シリコン接合界面形成と電子状態

著者名

川本, 聡

著者別名

カワモト, サトシ

学位授与大学

岡山大学

取得学位

博士 (理学)

学位授与番号

甲第1116号

学位授与年月日

1993-03-28

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 第一部(光)電子分光法を用いた遷移金属/シリコン接合系の室温界面反応の研究 / p1 (0005.jp2)
  2. 第一章 序論 / p2 (0006.jp2)
  3. I.1.1 はじめに / p2 (0006.jp2)
  4. I.1.2 室温界面反応:反応モデル / p7 (0009.jp2)
  5. 第二章 実験原理 / p9 (0010.jp2)
  6. I.2.1 光電子分光法(Photoemission Spectroscopy:PES) / p13 (0012.jp2)
  7. I.2.2 オージェ電子分光法(Auger Electron Spectroscopy:AES) / p16 (0013.jp2)
  8. I.2.3 電子エネルギー損失分光法(Electron Energy Loss Spectroscopy:EELS) / p18 (0014.jp2)
  9. I.2.4 低速電子回折(Low Energy Electron Diffraction:LEED) / p20 (0015.jp2)
  10. I.2.5 測定装置 / p23 (0017.jp2)
  11. 第三章 光電子分光法を用いたPd/Si(100)2×1系の室温界面反応の研究 / p25 (0018.jp2)
  12. I.3.1 はじめに / p25 (0018.jp2)
  13. I.3.2 実験装置 / p27 (0019.jp2)
  14. I.3.3 実験方法 / p29 (0020.jp2)
  15. I.3.4 実験結果および考察 / p32 (0021.jp2)
  16. I.3.5 結論 / p49 (0030.jp2)
  17. 第四章 電子分光法を用いたMn/Si(111)7×7系の室温界面反応の研究 / p50 (0030.jp2)
  18. I.4.1 はじめに / p50 (0030.jp2)
  19. I.4.2 実験装置 / p50 (0030.jp2)
  20. I.4.3 実験方法 / p54 (0032.jp2)
  21. I.4.4 結果および考察 / p57 (0034.jp2)
  22. I.4.5 界面反応モデルの提唱 / p79 (0045.jp2)
  23. I.4.6 結論 / p82 (0046.jp2)
  24. 第五章 今後の発展:極低温での金属/半導体接合界面反応の研究 / p82 (0046.jp2)
  25. I.5.1 はじめに / p82 (0046.jp2)
  26. I.5.2 低温での金属/半導体接合界面 / p84 (0047.jp2)
  27. I.5.3 極低温試料冷却装置の開発 / p85 (0048.jp2)
  28. 第六章 まとめ / p87 (0049.jp2)
  29. 参考文献 / p90 (0050.jp2)
  30. 第二部 軟X線分光法を用いたパラジウムシリサイドの研究 / p92 (0051.jp2)
  31. 第一章 序論 / p93 (0052.jp2)
  32. II.1.1 はじめに / p93 (0052.jp2)
  33. II.1.2 パラジウムシリサイド / p93 (0052.jp2)
  34. 第二章 実験原理 / p96 (0054.jp2)
  35. II.2.1 軟X線分光法(Soft X-ray Emission Spectroscopy:SXES) / p96 (0054.jp2)
  36. 第三章 パラジウムシリサイドの価電子帯状態密度の研究 / p105 (0058.jp2)
  37. II.3.1 はじめに / p105 (0058.jp2)
  38. II.3.2 実験方法 / p108 (0060.jp2)
  39. II.3.3 実験結果および考察 / p111 (0061.jp2)
  40. II.3.4 価電子帯構造:実験結果と理論値との比較 / p119 (0065.jp2)
  41. II.3.5 結論 / p124 (0068.jp2)
  42. 第四章 軟X線分光法のPd/Si系の室温界面反応の研究への応用 / p124 (0068.jp2)
  43. II.4.1 はじめに / p124 (0068.jp2)
  44. II.4.2 実験方法 / p125 (0068.jp2)
  45. II.4.3 実験結果および考察 / p125 (0068.jp2)
  46. II.4.4 結論 / p131 (0071.jp2)
  47. 参考文献 / p133 (0072.jp2)
  48. 結言 / p134 (0073.jp2)
  49. 謝辞 / p135 (0073.jp2)
  50. 本研究に関する発表論文および学会発表 / p136 (0074.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000094336
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000094562
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000258650
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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