単結晶シリコンの超精密研削に関する研究

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著者

    • 呉, 東權 ウー, トンチュアン

書誌事項

タイトル

単結晶シリコンの超精密研削に関する研究

著者名

呉, 東權

著者別名

ウー, トンチュアン

学位授与大学

千葉大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第991号

学位授与年月日

1993-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0009.jp2)
  3. 第1節 本研究の背景と目的 / p1 (0009.jp2)
  4. 第2節 本研究の内容 / p4 (0012.jp2)
  5. 第3節 本論文の構成と概要 / p8 (0016.jp2)
  6. 参考文献 / p10 (0018.jp2)
  7. 第2章 脆性-延性遷移に伴う加工表面性状の変化 / p13 (0022.jp2)
  8. 第1節 緒言 / p13 (0022.jp2)
  9. 第2節 単結晶シリコンの材料性質 / p14 (0023.jp2)
  10. 第3節 予備実験 / p15 (0024.jp2)
  11. 2.3.1 単結晶シリコンの端面旋削 / p15 (0024.jp2)
  12. 2.3.2 単結晶シリコンの正面切削 / p16 (0025.jp2)
  13. 2.3.3 まとめ / p18 (0027.jp2)
  14. 第4節 実験方法及び実験装置 / p18 (0027.jp2)
  15. 2.4.1 正面切削における加工方法 / p18 (0027.jp2)
  16. 2.4.2 加工表面性状の評価方法 / p19 (0028.jp2)
  17. 第5節 切削加工部の表面微細形状の特性 / p23 (0032.jp2)
  18. 第6節 脆性-延性遷移の切削条件依存性 / p26 (0035.jp2)
  19. 第7節 切削加工部の残留応力と結晶性 / p28 (0037.jp2)
  20. 第8節 延性モードによる加工面の高品位の可能性 / p29 (0038.jp2)
  21. 第9節 結言 / p29 (0038.jp2)
  22. 参考文献 / p32 (0041.jp2)
  23. 第3章 砥粒先端形状が表面性状に及ぼす影響 / p64 (0074.jp2)
  24. 第1節 緒言 / p64 (0074.jp2)
  25. 第2節 実験方法及び実験装置 / p64 (0074.jp2)
  26. 3.2.1 単粒引っかき実験 / p65 (0075.jp2)
  27. 3.2.2 単粒研削実験 / p65 (0075.jp2)
  28. 第3節 引っかき条痕の表面性状 / p66 (0076.jp2)
  29. 第4節 引っかき抵抗と動力 / p67 (0077.jp2)
  30. 第5節 研削条痕の表面性状 / p68 (0078.jp2)
  31. 第6節 圧子先端形状と切り残し量の関係 / p70 (0080.jp2)
  32. 第7節 研削方式が脆性-延性遷移に及ぼす影響 / p70 (0080.jp2)
  33. 第8節 研削条痕の詳細観察 / p72 (0082.jp2)
  34. 第9節 結言 / p73 (0083.jp2)
  35. 参考文献 / p75 (0085.jp2)
  36. 第4章 砥石成形が加工表面性状に及ぼす影響 / p94 (0105.jp2)
  37. 第1節 緒言 / p94 (0105.jp2)
  38. 第2節 実験方法及び実験装置 / p94 (0105.jp2)
  39. 4.2.1 ドレッシング及びトランケティングの方法 / p94 (0105.jp2)
  40. 4.2.2 研削実験の方法 / p95 (0106.jp2)
  41. 4.2.3 砥石作業面と研削面の評価方法 / p96 (0107.jp2)
  42. 第3節 成形した砥石作業面の評価 / p97 (0108.jp2)
  43. 4.3.1 断面形状による評価 / p97 (0108.jp2)
  44. 4.3.2 表面粗さと歪度-尖度による評価 / p98 (0109.jp2)
  45. 第4節 臨界切り込み深さdcによる評価 / p101 (0112.jp2)
  46. 第5節 脆性破壊面積率による評価 / p103 (0114.jp2)
  47. 第6節 中心線平均粗さによる評価 / p104 (0115.jp2)
  48. 第7節 研削面の歪度-尖度特性 / p105 (0116.jp2)
  49. 第8節 トランケティング砥石による高品位研削の可能性 / p106 (0117.jp2)
  50. 第9節 結言 / p106 (0117.jp2)
  51. 参考文献 / p108 (0119.jp2)
  52. 第5章 脆性-延性遷移に伴う研削抵抗の変化 / p134 (0146.jp2)
  53. 第1節 緒言 / p134 (0146.jp2)
  54. 第2節 実験方法及び実験装置 / p135 (0147.jp2)
  55. 第3節 研削面の表面性状 / p135 (0147.jp2)
  56. 第4節 脆性-延性遷移に伴う研削抵抗の変化 / p136 (0148.jp2)
  57. 第5節 脆性-延性遷移に伴う加工面圧力の変化 / p139 (0151.jp2)
  58. 第6節 脆性-延性遷移に伴う比研削エネルギーの変化 / p141 (0153.jp2)
  59. 第7節 脆性-延性遷移に伴う研削抵抗の変化 / p142 (0154.jp2)
  60. 第8節 結言 / p144 (0156.jp2)
  61. 参考文献 / p145 (0157.jp2)
  62. 第6章 脆性-延性遷移における材料温度及び荷重負荷速度の影響 / p162 (0175.jp2)
  63. 第1節 緒言 / p162 (0175.jp2)
  64. 第2節 脆性-延性遷移の微視的機構 / p162 (0175.jp2)
  65. 第3節 実験方法及び実験装置 / p164 (0177.jp2)
  66. 第4節 高温における押し込み実験 / p164 (0177.jp2)
  67. 6.4.1 転位運動の温度依存性 / p165 (0178.jp2)
  68. 6.4.2 微視的塑性変形と破壊機構 / p166 (0179.jp2)
  69. 6.4.3 荷重負荷速度曲線の特性 / p167 (0180.jp2)
  70. 6.4.4 亀裂長さの物理的条件依存性 / p168 (0181.jp2)
  71. 第5節 高温における引っかき実験 / p168 (0181.jp2)
  72. 第6節 延性モード研削加工の物理的可能性 / p170 (0183.jp2)
  73. 第7節 結言 / p171 (0184.jp2)
  74. 参考文献 / p172 (0185.jp2)
  75. 第7章 結論 / p186 (0200.jp2)
  76. 謝辞 / p192 (0206.jp2)
  77. 本論文との関連研究論文 / p193 (0207.jp2)
5アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000094857
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000095083
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000259171
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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