集積化容量型センサの研究

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著者

    • 松本, 佳宣 マツモト, ヨシノリ

書誌事項

タイトル

集積化容量型センサの研究

著者名

松本, 佳宣

著者別名

マツモト, ヨシノリ

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第4832号

学位授与年月日

1993-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0005.jp2)
  3. 参考文献 / p4 (0006.jp2)
  4. 第2章 シリコンセンサ / p6 (0007.jp2)
  5. 2.1 緒言 / p6 (0007.jp2)
  6. 2.2 ピエゾ抵抗型センサ / p6 (0007.jp2)
  7. 2.3 容量型センサ / p8 (0008.jp2)
  8. 2.3 結言 / p12 (0010.jp2)
  9. 参考文献 / p13 (0011.jp2)
  10. 第3章 パッケージング技術 / p15 (0012.jp2)
  11. 3.1 緒言 / p15 (0012.jp2)
  12. 3.2 フィードスルー構造 / p15 (0012.jp2)
  13. 3.3 要素技術 / p18 (0013.jp2)
  14. 3.4 ピエゾ抵抗型圧力センサ / p22 (0015.jp2)
  15. 3.5 触覚センサ,熱式ガス流量センサ / p28 (0018.jp2)
  16. 3.6 結言 / p28 (0018.jp2)
  17. 参考文献 / p32 (0020.jp2)
  18. 第4章 容量型圧力センサの設計論 / p33 (0021.jp2)
  19. 4.1 緒言 / p33 (0021.jp2)
  20. 4.2 容量型圧力センサの諸方式 / p33 (0021.jp2)
  21. 4.3 出力感度特性 / p36 (0022.jp2)
  22. 4.4 寄生容量の影響 / p43 (0026.jp2)
  23. 4.5 基準圧室内空気の影響 / p43 (0026.jp2)
  24. 4.6 静電引力の影響 / p46 (0027.jp2)
  25. 4.7 結言 / p46 (0027.jp2)
  26. 参考文献 / p48 (0028.jp2)
  27. 第5章 容量型加速度センサの設計論 / p49 (0029.jp2)
  28. 5.1 緒言 / p49 (0029.jp2)
  29. 5.2 容量型加速度センサの原理 / p49 (0029.jp2)
  30. 5.3 容量型加速度センサの諸方式 / p51 (0030.jp2)
  31. 5.4 出力感度特性 / p55 (0032.jp2)
  32. 5.5 周波数特性 / p57 (0033.jp2)
  33. 5.6 静電サ一ボ方式 / p59 (0034.jp2)
  34. 5.7 結言 / p62 (0035.jp2)
  35. 参考文献 / p63 (0036.jp2)
  36. 第6章 容量検出回路 / p64 (0036.jp2)
  37. 6.1 緒言 / p64 (0036.jp2)
  38. 6.2 容量検出回路の諸方式 / p64 (0036.jp2)
  39. 6.3 C-Fコンバータの原理 / p69 (0039.jp2)
  40. 6.4 構成要素 / p73 (0041.jp2)
  41. 6.5 設計,製作 / p82 (0045.jp2)
  42. 6.6 特性 / p85 (0047.jp2)
  43. 6.7 応用例 / p95 (0052.jp2)
  44. 6.8 結言 / p95 (0052.jp2)
  45. 参考文献 / p97 (0053.jp2)
  46. 第7章 集積化容量型圧力センサ / p98 (0053.jp2)
  47. 7.1 緒言 / p98 (0053.jp2)
  48. 7.2 原理 / p99 (0054.jp2)
  49. 7.3 設計 / p99 (0054.jp2)
  50. 7.4 構造,レイアウト / p103 (0056.jp2)
  51. 7.5 製作 / p106 (0057.jp2)
  52. 7.6 特性 / p109 (0059.jp2)
  53. 7.7 圧力計測システム / p116 (0062.jp2)
  54. 7.8 考察 / p119 (0064.jp2)
  55. 7.9 結言 / p121 (0065.jp2)
  56. 参考文献 / p122 (0065.jp2)
  57. 第8章 集積化容量型加速度センサ / p124 (0066.jp2)
  58. 8.1 緒言 / p124 (0066.jp2)
  59. 8.2 静電サーボ方式の諸方式 / p125 (0067.jp2)
  60. 8.3 PLL静電サーボ方式の加速度計測システム / p127 (0068.jp2)
  61. 8.4 ドリフト補正型加速度計測システム / p151 (0080.jp2)
  62. 8.5 結言 / p160 (0084.jp2)
  63. 参考文献 / p162 (0085.jp2)
  64. 第9章 結論 / p164 (0086.jp2)
  65. 付録 / p166 (0087.jp2)
  66. 謝辞 / p172 (0090.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000095388
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000095614
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000259702
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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