集積化容量型センサの研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
-
集積化容量型センサの研究
- Author
-
松本, 佳宣
- Author(Another name)
-
マツモト, ヨシノリ
- University
-
東北大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第4832号
- Degree year
-
1993-03-25
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / (0003.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0005.jp2)
- 参考文献 / p4 (0006.jp2)
- 第2章 シリコンセンサ / p6 (0007.jp2)
- 2.1 緒言 / p6 (0007.jp2)
- 2.2 ピエゾ抵抗型センサ / p6 (0007.jp2)
- 2.3 容量型センサ / p8 (0008.jp2)
- 2.3 結言 / p12 (0010.jp2)
- 参考文献 / p13 (0011.jp2)
- 第3章 パッケージング技術 / p15 (0012.jp2)
- 3.1 緒言 / p15 (0012.jp2)
- 3.2 フィードスルー構造 / p15 (0012.jp2)
- 3.3 要素技術 / p18 (0013.jp2)
- 3.4 ピエゾ抵抗型圧力センサ / p22 (0015.jp2)
- 3.5 触覚センサ,熱式ガス流量センサ / p28 (0018.jp2)
- 3.6 結言 / p28 (0018.jp2)
- 参考文献 / p32 (0020.jp2)
- 第4章 容量型圧力センサの設計論 / p33 (0021.jp2)
- 4.1 緒言 / p33 (0021.jp2)
- 4.2 容量型圧力センサの諸方式 / p33 (0021.jp2)
- 4.3 出力感度特性 / p36 (0022.jp2)
- 4.4 寄生容量の影響 / p43 (0026.jp2)
- 4.5 基準圧室内空気の影響 / p43 (0026.jp2)
- 4.6 静電引力の影響 / p46 (0027.jp2)
- 4.7 結言 / p46 (0027.jp2)
- 参考文献 / p48 (0028.jp2)
- 第5章 容量型加速度センサの設計論 / p49 (0029.jp2)
- 5.1 緒言 / p49 (0029.jp2)
- 5.2 容量型加速度センサの原理 / p49 (0029.jp2)
- 5.3 容量型加速度センサの諸方式 / p51 (0030.jp2)
- 5.4 出力感度特性 / p55 (0032.jp2)
- 5.5 周波数特性 / p57 (0033.jp2)
- 5.6 静電サ一ボ方式 / p59 (0034.jp2)
- 5.7 結言 / p62 (0035.jp2)
- 参考文献 / p63 (0036.jp2)
- 第6章 容量検出回路 / p64 (0036.jp2)
- 6.1 緒言 / p64 (0036.jp2)
- 6.2 容量検出回路の諸方式 / p64 (0036.jp2)
- 6.3 C-Fコンバータの原理 / p69 (0039.jp2)
- 6.4 構成要素 / p73 (0041.jp2)
- 6.5 設計,製作 / p82 (0045.jp2)
- 6.6 特性 / p85 (0047.jp2)
- 6.7 応用例 / p95 (0052.jp2)
- 6.8 結言 / p95 (0052.jp2)
- 参考文献 / p97 (0053.jp2)
- 第7章 集積化容量型圧力センサ / p98 (0053.jp2)
- 7.1 緒言 / p98 (0053.jp2)
- 7.2 原理 / p99 (0054.jp2)
- 7.3 設計 / p99 (0054.jp2)
- 7.4 構造,レイアウト / p103 (0056.jp2)
- 7.5 製作 / p106 (0057.jp2)
- 7.6 特性 / p109 (0059.jp2)
- 7.7 圧力計測システム / p116 (0062.jp2)
- 7.8 考察 / p119 (0064.jp2)
- 7.9 結言 / p121 (0065.jp2)
- 参考文献 / p122 (0065.jp2)
- 第8章 集積化容量型加速度センサ / p124 (0066.jp2)
- 8.1 緒言 / p124 (0066.jp2)
- 8.2 静電サーボ方式の諸方式 / p125 (0067.jp2)
- 8.3 PLL静電サーボ方式の加速度計測システム / p127 (0068.jp2)
- 8.4 ドリフト補正型加速度計測システム / p151 (0080.jp2)
- 8.5 結言 / p160 (0084.jp2)
- 参考文献 / p162 (0085.jp2)
- 第9章 結論 / p164 (0086.jp2)
- 付録 / p166 (0087.jp2)
- 謝辞 / p172 (0090.jp2)