ペンタメトキシタンタルからの高耐食性Ta[2]O[5]薄膜の化学気相析出に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
ペンタメトキシタンタルからの高耐食性Ta[2]O[5]薄膜の化学気相析出に関する研究
- 著者名
-
安, 春鎬
- 著者別名
-
アン, チュンホ
- 学位授与大学
-
東北大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第4856号
- 学位授与年月日
-
1993-03-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
- 参考文献 / p9 (0009.jp2)
- 第2章 実験方法 / p12 (0010.jp2)
- 2.1 薄膜の作製 / p12 (0010.jp2)
- 2.2 Ta₂0₅薄膜の成長過程 / p15 (0012.jp2)
- 2.3 Ta₂0₅薄膜の組織および組成分析 / p21 (0015.jp2)
- 2.4 Ta₂0₅薄膜の電気的性質 / p23 (0016.jp2)
- 2.5 Ta₂0₅薄膜の化学気相析出機構の解析 / p27 (0018.jp2)
- 参考文献 / p35 (0022.jp2)
- 第3章 Pt基板上でのTa₂0₅薄膜の成長および溶解過程 / p36 (0022.jp2)
- 3.1 緒言 / p36 (0022.jp2)
- 3.2 実験結果 / p37 (0023.jp2)
- 3.3 PET-0₂系によるTa₂0₅薄膜との比較 / p53 (0031.jp2)
- 3.4 結論 / p59 (0034.jp2)
- 参考文献 / p60 (0034.jp2)
- 第4章 Si(100)基板上でのTa₂0₅薄膜の成長および溶解過程 / p62 (0035.jp2)
- 4.1 緒言 / p62 (0035.jp2)
- 4.2 実験結果 / p63 (0036.jp2)
- 4.3 結論 / p83 (0046.jp2)
- 参考文献 / p85 (0047.jp2)
- 第5章 Ta₂0₅薄膜の電気的性質 / p87 (0048.jp2)
- 5.1 緒言 / p87 (0048.jp2)
- 5.2 実験結果 / p87 (0048.jp2)
- 5.3 結論 / p98 (0053.jp2)
- 参考文献 / p99 (0054.jp2)
- 第6章 ペンタメトキシタンタルからのTa₂0₅薄膜の化学気相析出機構 / p100 (0054.jp2)
- 6.1 緒言 / p100 (0054.jp2)
- 6.2 実験結果 / p100 (0054.jp2)
- 6.3 考察 / p114 (0061.jp2)
- 6.4 結論 / p129 (0069.jp2)
- 参考文献 / p132 (0070.jp2)
- 第7章 総括 / p133 (0071.jp2)
- 謝辞 / p138 (0073.jp2)