反応性スパッタ法により作製した遷移金属化合物薄膜に関する研究

この論文をさがす

著者

    • 吉竹, 正明 ヨシタケ, マサアキ

書誌事項

タイトル

反応性スパッタ法により作製した遷移金属化合物薄膜に関する研究

著者名

吉竹, 正明

著者別名

ヨシタケ, マサアキ

学位授与大学

大阪府立大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第730号

学位授与年月日

1993-04-30

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 本研究の背景 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 従来の研究の概要 / p2 (0006.jp2)
  5. 1.3 本研究の目的と方針 / p4 (0007.jp2)
  6. 参考文献 / p6 (0008.jp2)
  7. 第2章 反応性イオンビームスパッタ法によるZr-O薄膜の形成 / p7 (0008.jp2)
  8. 2.1 緒言 / p7 (0008.jp2)
  9. 2.2 イオンビームスパッタ装置 / p8 (0009.jp2)
  10. 2.3 Zr-O薄膜の作製と評価方法 / p11 (0010.jp2)
  11. 2.4 Zr-O薄膜の形成および膜特性の酸素分圧依存性 / p12 (0011.jp2)
  12. 2.5 スパッタ機構 / p17 (0013.jp2)
  13. 2.6 Zr-O薄膜形成および膜特性のスパッタイオンビーム電流依存性 / p24 (0017.jp2)
  14. 2.7 結言 / p30 (0020.jp2)
  15. 参考文献 / p32 (0021.jp2)
  16. 第3章 反応性イオンビームスパッタ法によるZr-N薄膜の形成 / p33 (0021.jp2)
  17. 3.1 緒言 / p33 (0021.jp2)
  18. 3.2 Zr-N薄膜の作製と評価方法 / p34 (0022.jp2)
  19. 3.3 Zr-N薄膜の形成および膜特性の窒素分圧依存性 / p34 (0022.jp2)
  20. 3.4 Zr-N薄膜形成及び膜特性のスパッタイオンビーム電流依存性 / p41 (0025.jp2)
  21. 3.5 スパッタ機構 / p45 (0027.jp2)
  22. 3.6 窒素イオンビームによるスパッタ / p49 (0029.jp2)
  23. 3.7 結言 / p55 (0032.jp2)
  24. 参考文献 / p57 (0033.jp2)
  25. 第4章 反応性RFマグネトロンスパッタ法によるZr-N薄膜の形成 / p59 (0034.jp2)
  26. 4.1 緒言 / p59 (0034.jp2)
  27. 4.2 RFマグネトロンスパッタ装置の概要 / p60 (0035.jp2)
  28. 4.3 Zr-N薄膜の作製と評価方法 / p63 (0036.jp2)
  29. 4.4 窒素-アルゴン混合雰囲気中でのスパッタ / p64 (0037.jp2)
  30. 4.5 純窒素ガスによるスパッタ / p72 (0041.jp2)
  31. 4.6 結言 / p77 (0043.jp2)
  32. 参考文献 / p78 (0044.jp2)
  33. 第5章 反応性RFマグネトロンスパッタ法によるZr-C薄膜の形成 / p79 (0044.jp2)
  34. 5.1 緒言 / p79 (0044.jp2)
  35. 5.2 Zr-C薄膜の作製と評価方法 / p80 (0045.jp2)
  36. 5.3 アセチレン-アルゴン雰囲気中でのスパッタ / p81 (0045.jp2)
  37. 5.4 結言 / p89 (0049.jp2)
  38. 参考文献 / p90 (0050.jp2)
  39. 第6章 反応性RFマグネトロンスパッタ法によるCr-N薄膜の形成 / p91 (0050.jp2)
  40. 6.1 緒言 / p91 (0050.jp2)
  41. 6.2 Cr-N薄膜の作製と評価方法 / p92 (0051.jp2)
  42. 6.3 窒素-アルゴン雰囲気中でのスパッタ / p92 (0051.jp2)
  43. 6.4 結言 / p100 (0055.jp2)
  44. 参考文献 / p102 (0056.jp2)
  45. 第7章 結論 / p103 (0056.jp2)
  46. 謝辞 / p106 (0058.jp2)
0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000095642
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000095868
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000259956
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ