電子衝突による反応性ガスの中性解離断面積の測定

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著者

    • 中野, 荘 ナカノ, トオル

書誌事項

タイトル

電子衝突による反応性ガスの中性解離断面積の測定

著者名

中野, 荘

著者別名

ナカノ, トオル

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第2738号

学位授与年月日

1993-03-25

注記・抄録

博士論文

名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成5年3月25日

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 プラズマ内の素過程と衝突断面積 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 衝突断面積の測定 / p4 (0007.jp2)
  5. 1.3 断面積データの必要性 / p10 (0010.jp2)
  6. 1.4 本研究の目的および意義 / p13 (0011.jp2)
  7. 1.5 本論文の構成 / p14 (0012.jp2)
  8. 参考文献 / p15 (0012.jp2)
  9. 第2章 しきい値イオン化による断面積測定法 / p18 (0014.jp2)
  10. 2.1 しきい値イオン化質量分析法による中性ラジカルの検出 / p18 (0014.jp2)
  11. 2.2 二電子ビーム装置による断面積測定 / p20 (0015.jp2)
  12. 2.3 実験装置 / p22 (0016.jp2)
  13. 2.4 衝突断面積の評価 / p33 (0021.jp2)
  14. 参考文献 / p50 (0030.jp2)
  15. 第3章 CH4の中性ラジカルへの解離 / p51 (0030.jp2)
  16. 3.1 はじめに / p51 (0030.jp2)
  17. 3.2 しきい値イオン化特性 / p53 (0031.jp2)
  18. 3.3 圧力,電流依存性 / p57 (0033.jp2)
  19. 3.4 断面積のエネルギー依存性 / p60 (0035.jp2)
  20. 3.5 絶対値の較正 / p63 (0036.jp2)
  21. 3.6 考察 / p70 (0040.jp2)
  22. 3.7 まとめ / p75 (0042.jp2)
  23. 参考文献 / p78 (0044.jp2)
  24. 第4章 CF4の中性ラジカルへの解離 / p80 (0045.jp2)
  25. 4.1 はじめに / p80 (0045.jp2)
  26. 4.2 しきい値イオン化特性 / p83 (0046.jp2)
  27. 4.3 圧力,電流依存性 / p87 (0048.jp2)
  28. 4.4 中性ラジカルへの解離の断面積のエネルギー依存性 / p87 (0048.jp2)
  29. 4.5 解離断面積の絶対値 / p90 (0050.jp2)
  30. 4.6 考察 / p99 (0054.jp2)
  31. 4.7 まとめ / p105 (0057.jp2)
  32. 参考文献 / p107 (0058.jp2)
  33. 第5章 SiF4の中性ラジカルへの解離 / p108 (0059.jp2)
  34. 5.1 はじめに / p108 (0059.jp2)
  35. 5.2 しきい値イオン化特性 / p109 (0059.jp2)
  36. 5.3 圧力、電流依存性 / p111 (0060.jp2)
  37. 5.4 中性ラジカルへの解離の断面積のエネルギー依存性 / p116 (0063.jp2)
  38. 5.5 解離断面積の絶対値 / p116 (0063.jp2)
  39. 5.6 考察 / p126 (0068.jp2)
  40. 5.7 まとめ / p130 (0070.jp2)
  41. 参考文献 / p132 (0071.jp2)
  42. 第6章 総括 / p133 (0071.jp2)
  43. 6.1 本研究のまとめ / p133 (0071.jp2)
  44. 6.2 今後の課題 / p134 (0072.jp2)
  45. 謝辞 / p136 (0073.jp2)
  46. 研究業績 / p137 (0073.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000095723
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000095949
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000260037
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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