直線運動精度の超精密計測・制御

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著者

    • 山口, 城治 ヤマグチ, ジョウジ

書誌事項

タイトル

直線運動精度の超精密計測・制御

著者名

山口, 城治

著者別名

ヤマグチ, ジョウジ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第2640号

学位授与年月日

1993-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 記号表 / (0006.jp2)
  3. 第1章 緒論 / p1 (0009.jp2)
  4. 1.1 背景 / p1 (0009.jp2)
  5. 1.2 従来の直線運動機構 / p2 (0010.jp2)
  6. 1.3 直線運動精度の計測法についての従来の研究 / p4 (0012.jp2)
  7. 1.4 研究の目的 / p10 (0018.jp2)
  8. 1.5 本論文の構成 / p10 (0018.jp2)
  9. 第2章 超精密直線運動機構 / p13 (0021.jp2)
  10. 2.1 緒言 / p13 (0021.jp2)
  11. 2.2 超精密直線運動機構の原理 / p13 (0021.jp2)
  12. 2.3 機械系の構成 / p15 (0023.jp2)
  13. 2.4 計測・制御系の構成 / p20 (0028.jp2)
  14. 2.5 超精密直線運動機構の特性 / p40 (0048.jp2)
  15. 2.6 結言 / p66 (0074.jp2)
  16. 第3章 液面を基準とする直線運動精度の計測と制御 / p71 (0079.jp2)
  17. 3.1 緒言 / p71 (0079.jp2)
  18. 3.2 液体の選定 / p72 (0080.jp2)
  19. 3.3 機械系の構成 / p76 (0084.jp2)
  20. 3.4 絶対基準に対する運動誤差の計測 / p79 (0087.jp2)
  21. 3.5 定盤の傾斜角制御を行わない場合 / p84 (0092.jp2)
  22. 3.6 定盤の傾斜角制御 / p88 (0096.jp2)
  23. 3.7 定盤の傾斜角制御を行った場合 / p100 (0108.jp2)
  24. 3.8 結言 / p108 (0116.jp2)
  25. 第4章 改良逐次3点法による直線運動精度の計測 / p119 (0127.jp2)
  26. 4.1 緒言 / p119 (0127.jp2)
  27. 4.2 仮想直線を絶対基準とする従来の計測法 / p119 (0127.jp2)
  28. 4.3 改良逐次3点法 / p122 (0130.jp2)
  29. 4.4 従来の逐次3点法の原理と誤差要因 / p124 (0132.jp2)
  30. 4.5 改良逐次3点法の原理 / p127 (0135.jp2)
  31. 4.6 シミュレーション / p133 (0141.jp2)
  32. 4.7 実験 / p138 (0146.jp2)
  33. 4.8 結言 / p164 (0172.jp2)
  34. 第5章 結論 / p169 (0177.jp2)
  35. 5.1 結言 / p169 (0177.jp2)
  36. 5.2 今後の課題 / p172 (0180.jp2)
  37. 参考文献 / p173 (0181.jp2)
  38. 謝辞 / (0187.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000096981
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000097209
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000261295
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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