CO[2]レーザによる硬質膜形成に関する研究

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著者

    • 峯田, 進栄 ミネタ, シンエイ

書誌事項

タイトル

CO[2]レーザによる硬質膜形成に関する研究

著者名

峯田, 進栄

著者別名

ミネタ, シンエイ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第2350号

学位授与年月日

1992-04-30

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 目次 / (0004.jp2)
  3. 第1章 緒論 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.1 本研究の背景と意義 / p1 (0006.jp2)
  5. 1.2 本研究の目的と概要 / p6 (0009.jp2)
  6. 第2章 C0₂レーザを用いたPVD法の原理と装置 / p8 (0010.jp2)
  7. 2.1 C0₂レーザPVD法の原理と特徴 / p8 (0010.jp2)
  8. 2.2 実験に用いたC0₂レーザ発振器とそのビーム特性 / p12 (0012.jp2)
  9. 2.3 本章のまとめ / p21 (0016.jp2)
  10. 第3章 レーザPVD法によるセラミック膜の形成 / p23 (0017.jp2)
  11. 3.1 レーザPVD法によるセラミック蒸着特性 / p23 (0017.jp2)
  12. 3.2 形成されたセラミック膜の特性評価 / p27 (0019.jp2)
  13. 3.3 C0₂レーザ光吸収体への応用 / p38 (0025.jp2)
  14. 3.4 本章のまとめ / p42 (0027.jp2)
  15. 第4章 Nイオン付加レーザPVD法によるcBN膜の形成 / p44 (0028.jp2)
  16. 4.1 cBN膜形成技術の開発現状 / p45 (0028.jp2)
  17. 4.2 イオン化機構を付加したレーザPVD装置 / p47 (0029.jp2)
  18. 4.3 Nイオン付加条件とcBN膜の形成 / p51 (0031.jp2)
  19. 4.4 cBN膜の密着性評価 / p62 (0037.jp2)
  20. 4.5 cBN膜の耐摩耗性評価 / p67 (0039.jp2)
  21. 4.6 cBN膜のガラス成形用金型への応用 / p69 (0040.jp2)
  22. 4.7 本章のまとめ / p71 (0041.jp2)
  23. 第5章 レーザ誘起放電レーザPVD法による硬質炭素膜の形成 / p73 (0042.jp2)
  24. 5.1 非晶質硬質炭素膜形成技術の開発現状 / p73 (0042.jp2)
  25. 5.2 レーザ誘起放電を併用したレーザPVD装置 / p74 (0043.jp2)
  26. 5.3 DLC膜の形成 / p75 (0043.jp2)
  27. 5.4 DLC膜の応用 / p82 (0047.jp2)
  28. 5.5 本章のまとめ / p89 (0050.jp2)
  29. 第6章 結論 / p91 (0051.jp2)
  30. 謝辞 / p94 (0053.jp2)
  31. 参考文献 / p95 (0053.jp2)
1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000097015
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000097243
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000261329
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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