対向ターゲット式スパッタ法による垂直磁気フレキシブル媒体の作製技術と記録特性に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
対向ターゲット式スパッタ法による垂直磁気フレキシブル媒体の作製技術と記録特性に関する研究
- Author
-
門倉, 貞夫
- Author(Another name)
-
カドクラ, サダオ
- University
-
東京工業大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
乙第2390号
- Degree year
-
1992-09-30
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 論文目録 / (0001.jp2)
- 目次 / (0005.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0007.jp2)
- 第2章 スパッタプラズマ特性と薄膜微細構造の関係 / p7 (0010.jp2)
- 2.1 スパッタ法による薄膜形成技術 / p7 (0010.jp2)
- 2.2 基板とターゲットが向い合うスパッタ法の特徴 / p9 (0011.jp2)
- 2.3 対向ターゲット式スパッタ(FTS)法の特徴 / p16 (0015.jp2)
- 2.4 薄膜の微細構造とスパッタプラズマ制御の関係 / p21 (0017.jp2)
- 第2章 引用文献 / p22 (0018.jp2)
- 第3章 連続薄膜媒体作製用FTS装置の提案 / p24 (0019.jp2)
- 3.1 プラズマ制御機構の検討 / p24 (0019.jp2)
- 3.2 水平磁界内蔵形FTS装置 / p35 (0025.jp2)
- 3.3 水平磁界内蔵形FTS装置のスパッタ放電特性 / p39 (0027.jp2)
- 3.4 水平磁界内蔵形FTS装置のターゲット侵食特性と膜厚分布特性 / p44 (0029.jp2)
- 3.5 水平磁界内蔵形FTS装置の量産化技術 / p48 (0031.jp2)
- 3.6 水平磁界内蔵形FTS装置の基板入射熱流特性 / p53 (0034.jp2)
- 3.7 フィルム基板搬送設備の検討 / p57 (0036.jp2)
- 第3章 引用文献 / p62 (0038.jp2)
- 第4章 FTS装置による実用プラスチック基板上のCo-Cr薄膜特性検討 / p63 (0039.jp2)
- 4.1 Co-Cr薄膜の作製条件 / p63 (0039.jp2)
- 4.2 Co-Cr薄膜の微細構造とスパッタ条件 / p65 (0040.jp2)
- 4.3 スパッタ条件とCo-Cr薄膜の微細構造及び結晶性 / p74 (0045.jp2)
- 4.4 スパッタ条件とCo-Cr薄膜磁気特性 / p81 (0048.jp2)
- 4.5 走行基板に作製したCo-Cr薄膜媒体特性 / p84 (0050.jp2)
- 第4章 引用文献 / p104 (0060.jp2)
- 第5章 垂直磁気フレキシブルディスク(FD)媒体の試作 / p107 (0061.jp2)
- 5.1 Co-Cr系FD媒体の基本的構成 / p107 (0061.jp2)
- 5.2 フレキシブルディスク(FD)媒体の機械的性質 / p112 (0064.jp2)
- 5.3 実用プラスチック基板上のMo-Fe-Ni高透磁率層の試作 / p116 (0066.jp2)
- 5.4 2層膜フレキシブルディスク(D-FD)用媒体の試作 / p125 (0070.jp2)
- 5.5 FTS装置によるD-FD用媒体の特性 / p133 (0074.jp2)
- 第5章 引用文献 / p135 (0075.jp2)
- 第6章 2層膜フレキシブルディスク用媒体のトライボロジー検討 / p137 (0076.jp2)
- 6.1 ヘッド/ディスク間スペーシングとしゅう動過程 / p137 (0076.jp2)
- 6.2 Co-Cr薄膜の機械的性質と耐久性の関係 / p142 (0079.jp2)
- 6.3 保護層及び媒体表面性とトライボロジーの関係 / p153 (0084.jp2)
- 6.4 ヘッド方式とトライボロジー / p157 (0086.jp2)
- 第6章 引用文献 / p167 (0091.jp2)
- 第7章 垂直磁気記録媒体の構成と記録再生特性の関係 / p168 (0092.jp2)
- 7.1 垂直磁気記録における磁化反転の特徴 / p168 (0092.jp2)
- 7.2 垂直磁気記録における磁気的相互作用の特徴 / p173 (0095.jp2)
- 7.3 垂直磁気記録における再生減磁特性 / p177 (0097.jp2)
- 7.4 2層膜フレキシブルディスク(D-FD)の記録特性 / p178 (0097.jp2)
- 第7章 引用文献 / p184 (0100.jp2)
- 第8章 垂直磁気記録技術の展望 / p185 (0101.jp2)
- 第8章 引用文献 / p191 (0104.jp2)
- 第9章 結論 / p192 (0105.jp2)
- 謝辞 / p199 (0109.jp2)
- 発表論文リスト / p201 (0110.jp2)