アーク放電プラズマジェットによるダイヤモンド気相合成に関する研究

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著者

    • 大竹, 尚登 オオタケ, ナオト

書誌事項

タイトル

アーク放電プラズマジェットによるダイヤモンド気相合成に関する研究

著者名

大竹, 尚登

著者別名

オオタケ, ナオト

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第2413号

学位授与年月日

1992-12-31

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 目次 / (0004.jp2)
  3. 第1章 緒論 / p1 (0006.jp2)
  4. 1・1 はじめに / p2 (0007.jp2)
  5. 1・2 従来の研究 / p6 (0011.jp2)
  6. 1・3 本研究の目的 / p25 (0030.jp2)
  7. 1・4 本論文の構成 / p27 (0032.jp2)
  8. 参考文献 / p30 (0035.jp2)
  9. 第2章 ダイヤモンド気相合成用アーク放電プラズマジェットCVD装置の試作 / p36 (0041.jp2)
  10. 2・1 はじめに / p37 (0042.jp2)
  11. 2・2 アーク放電プラズマジェットCVD装置の設計および仕様 / p37 (0042.jp2)
  12. 2・3 基板温度の設定 / p43 (0048.jp2)
  13. 2・4 ダイヤモンド合成実験 / p45 (0050.jp2)
  14. 2・5 まとめ / p51 (0056.jp2)
  15. 参考文献 / p55 (0060.jp2)
  16. 第3章 ダイヤモンド気相合成における最適条件の選定 / p56 (0061.jp2)
  17. 3・1 はじめに / p57 (0062.jp2)
  18. 3・2 メタン濃度による影響 / p57 (0062.jp2)
  19. 3・3 メタンおよび水素流量による影響 / p65 (0070.jp2)
  20. 3・4 基板温度による影響 / p68 (0073.jp2)
  21. 3・5 放電電力による影響 / p68 (0073.jp2)
  22. 3・6 基板材料による影響 / p72 (0077.jp2)
  23. 3・7 まとめ / p96 (0101.jp2)
  24. 参考文献 / p96 (0101.jp2)
  25. 第4章 アーク放電プラズマジェットによる気相合成ダイヤモンドの結晶成長 / p98 (0103.jp2)
  26. 4・1 はじめに / p99 (0104.jp2)
  27. 4・2 結晶成長におよぼす基板表面処理の影響 / p99 (0104.jp2)
  28. 4・3 気相合成ダイヤモンドの組織 / p111 (0116.jp2)
  29. 4・4 結晶成長におよぼす合成条件の影響 / p126 (0131.jp2)
  30. 4・5 結晶成長におよぼす酸素添加の影響 / p136 (0141.jp2)
  31. 4.6 まとめ / p159 (0164.jp2)
  32. 参考文献 / p160 (0165.jp2)
  33. 第5章 ダイヤモンド合成用アーク放電プラズマジェットの状態解析 / p163 (0168.jp2)
  34. 5・1 はじめに / p164 (0169.jp2)
  35. 5・2 プラズマジェットの流れ場・温度場 / p164 (0169.jp2)
  36. 5・3 プラズマジェット内に生成される化学種 / p184 (0189.jp2)
  37. 5・4 基板に供給される化学種とダイヤモンド生成物形状との関係 / p195 (0200.jp2)
  38. 5・5 まとめ / p207 (0212.jp2)
  39. 記号 / p208 (0213.jp2)
  40. 参考文献 / p208 (0213.jp2)
  41. 第6章 ダイヤモンド薄板の切削工具への適用 / p209 (0214.jp2)
  42. 6・1 はじめに / p210 (0215.jp2)
  43. 6・2 ダイヤモンド切削工具の作製 / p211 (0216.jp2)
  44. 6・3 切削工具としての性能評価 / p220 (0225.jp2)
  45. 6・4 まとめ / p231 (0236.jp2)
  46. 参考文献 / p231 (0236.jp2)
  47. 第7章 ダイヤモンド薄板の砥粒への適用 / p232 (0237.jp2)
  48. 7・1 はじめに / p233 (0238.jp2)
  49. 7・2 ロールミルによるダイヤモンド粉の作製 / p233 (0238.jp2)
  50. 7・3 ダイヤモンド粉の特性 / p245 (0250.jp2)
  51. 7・4 ダイヤモンド砥石の研削特性 / p253 (0258.jp2)
  52. 7・5 気相合成ダイヤモンド粉の破砕特性に対する考察 / p280 (0285.jp2)
  53. 7・6 まとめ / p286 (0291.jp2)
  54. 参考文献 / p286 (0291.jp2)
  55. 第8章 結論 / p287 (0292.jp2)
  56. 謝辞 / (0293.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000097078
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000097306
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000261392
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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